SEF-N100 Series

デジタルマスフローメータ

 

最先端フィールドで培った技術をベースにお客様のご要望に合うモデルをラインアップ。

幅広い用途に対応する"コストパフォーマンス重視"のデジタルマスフローメータです。各種生産機器の組込用として、通信信号ではデジタル/アナログ通信の他、PLC(Programmable Logic Controller)通信に対応したモデルもラインアップしています。


幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング 等
  • 一般産業:バーナーガス計測、雰囲気ガス計測、混合ガス発生、通気量計測 等
  • 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器 等
  • ラボ:各種実験用ガス流量計測機器、サンプリングガス流量計測機器 等

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

 

微少流量から大流量計測まで対応 

■流量計測範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。

 

 

流量精度の向上

■セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載

多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また多種のプロセスガス流量を高精度流量計測システムを用いて計測し、プロセスガス流量精度の向上を図っています。  

       

全流量域にわたる高速応答

 ■新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載:フルレンジ1秒以内

マルチガス/マルチレンジ機能を搭載

■専用ソフトウェアを用い簡単操作で仕様変更が可能に

新機能のマルチガス・マルチレンジ機能は、お客様ご自身でマスフローメータの使用ガスや流量レンジの仕様を変更できます。

コストパフォーマンスを最優先した新アイデア設計を採用

  • ウルトラクリーン仕様をご要望のお客様はSEC-Z500Xシリーズをご検討ください。
  • 製品の仕様の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のための使用部品・生産手法などの変更は、お客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。

各種通信方式でお客様のご用途に合うモデルをラインアップ

 

通信方式 駆動電源 製品型式

デジタル通信

・RS-485 F-Net protcol

アナログ通信

・0~5VDC

±15VDC(±5%) SEC-N102 Series
DeviceNetTM通信 ODVA規格 SEC-N104 Series

CC-Link®通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

24VDC(13~32VDC) SEC-N105 Series

プロフィバス通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

プロフィバス規格

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106 Series

 ※専用電源PE seriesをラインアップしております。

 

SEF-N100 Series 仕様一覧

 

外形寸法図(単位:mm)

SEF-N100 Series 外形寸法図

Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

HORIBAグループ企業情報