Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
外形寸法図・他(単位:mm)
デジタルマスフローメータ
ベストセラーモデルのデジタルマスフローメータ。
自身でガス種/フルスケール流量を変更できるマルチレンジ/マルチガス機能、ピエゾバルブ搭載による±1.0 S.P.の高精度、高速応答、オールメタル対応など、最先端プロセスに必要な機能がこの1台に集約されています。