SEF-Z500X Series

デジタルマスフローメータ

ベストセラーモデルのデジタルマスフローメータ。
自身でガス種/フルスケール流量を変更できるマルチレンジ/マルチガス機能、ピエゾバルブ搭載による±1.0 S.P.の高精度、高速応答、オールメタル対応など、最先端プロセスに必要な機能がこの1台に集約されています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

 

  • マルチレンジ/マルチガス対応
    お客様ご自身でマスフローコントメータの仕様変更が行なえます。
  • 微少流量(5SCCM F.S)から大流量(200SLM F.S.)までフルラインアップ
  • 高精度
    ±1.0% S.P.(セットポイント)保証。
  • 高速応答
    フルレンジ1秒以内(T98) Variable PIDを搭載。
  • コンパクトサイズ
    面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。
  • ウルトラクリーン対応
    接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。

 

 

Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories

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