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コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

チャンバ内雰囲気の制御


チャンバ内の雰囲気をコントロールすることで安定した生産を実現します。

プラズマエミッションコントローラRU-1000でH2Oの分圧測定値が一定になるようにH2O流量をフィードバック制御をすることで、チャンバ雰囲気の膜質の均一化に貢献。またH2O添加量の誤差が少なくなることで品質のバラツキを小さくすることができます。