ガス供給システムの高性能化・コンパクト化へのご提案として、高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御機能を搭載したラインレギュレータや腐食性ガスに対応した排気圧コントローラなどをラインアップしています。

ウェハ裏面圧力制御システム GR-300 series

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。

デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-Z700 シリーズ

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。

ピエゾバルブ PV series

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

排気圧コントローラ EC series

高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能制御を実現した排気圧コントローラ