ガス供給システムの高性能化・コンパクト化へのご提案として、高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御機能を搭載したラインレギュレータや腐食性ガスに対応した排気圧コントローラなどをラインアップしています。
オートプレッシャレギュレータ UR-7300/Z704 series
ピエゾバルブ PV-1000/2000 series
排気圧コントローラ EC-5000 series
化合物半導体へのソリューション
