PV Series

Piezo Actuator Valve PV Series

ピエゾバルブ

外部機器からの制御信号を用いて、ガス流量または圧力制御するための高速応答バルブです。メタルダイヤフラム、メタルO-リング採用。接ガス部はオールメタル構造でウルトラクリーン対応です。ガスだけでなく、液体の流体制御も可能。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • ウルトラクリーン対応：オールメタル構造を採用
  • 微小流量から大流量までの流体制御が可能
  • 高温対応モデルラインアップ：PV-1000S/2000Sタイプ
  • RoHS指令適合

 

 

PV-1000
流量レンジ1/5/100/200/500 CCM
1/2/5 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算)
流量制御範囲フルスケールの2〜100%
バルブ方式ノーマルオープン/クローズ型
制御入力10〜5VDC
応答性0.5秒以内
使用温度0〜50℃
使用圧力MAX.300kPa
耐圧1MPa
リーク規格5×10-12Pa・m3(He)
PV-2000
流量レンジ10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N2換算)
流量制御範囲フルスケールの2〜100%
バルブ方式ノーマルオープン/クローズ型
制御入力10〜5VDC
応答性0.5秒以内
使用温度0〜50℃
使用圧力MAX.300kPa
耐圧1MPa
リーク規格5×10-12Pa・m3(He)

 

外形寸法図・他（単位：mm）

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
続きを読む
Size: 0.84 MB
〈カタログ〉PV Series

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

HORIBAグループ企業情報