・縦型炉、特にリン拡散。パイロジェン酸化に最適。
・PTFE（ふっ素樹脂）タイプで高温。
・腐食性ガスに対応。
・耐食圧力センサもラインアップ。
最適排気量に調節することにより「レジストの膜厚分布の均一化」「ミストの再付着防止」「危険な蒸気の拡散防止」に大きな効果があります。また流量センサによる制御に比べ、レジスト等の汚れによる感度の経時変化が低減され、乱流ノイズの影響もなく安定性・応答性に優れた制御が可能です。
元圧変動時の圧力制御状態です。優れた安定性をご確認ください。
バルブフルオープン状態までの素早い応答をご確認ください。
