化合物半導体プロセスで用いられる液体材料：TMAI、TMIn、TMGa、DEZnなどの安定した気化システムに必要なコンポーネンツをご提案しています。液体材料の気化発生には、バブリングガス流量の制御の他、液体材料シンリンダー内部圧力、発生温度の精密な制御が必要です。弊社ではマスフローコントローラ（SECシリーズ）、オートプレッシャーレギュレータ（URシリーズ）、フィードバックコントローラ（PCU）等をご提供しています。更に発生ガス濃度を非分散型赤外吸収法（NDIR法）により直接計測し濃度管理が行える小型モニタ：IR-150シリーズもラインアップしています。各々のデバイスを統括的に制御する専用ソフトも準備し、お客さまのシステムに応じた液体材料気化システムをご提案しています。
