任意濃度の湿度を発生
加湿する水分の量を液体用マスフローコントローラで制御し、キャリアガスとともに、気化器へ導入します。気化器では、瞬時に水を気化しガス化することにより、安定した任意の湿度を含むガスを発生します。
アルコール材料などの液体材料もガス化できる混合ガスがつくれる
アルコールをはじめとした液体材料も、同様にガス化（気化）が行えます。
腐食や毒性の強い液体材料も気化できる
特殊な液体材料も正確に安定して気化供給。任意の条件で変化させることも可能です。
特性に応じたシステムをご提案
腐食性や毒性を持つ液体材料への対策として、接液部すべてにステンレス材を採用するなど、安定した使用が行なえるシステムをご提案します。
一般的に湿度（露点）制御にはバブリング方式が採用されていますが、バブリングタンクの温度・圧力やキャリアガス流量を総合的に制御する必要があります。一方当社では、ガス・液体用マスフローコントローラを搭載したシンプルな「直接気化システム」をご提案し、幅広い用途に採用されています。
※バブリング方式においては、正確なキャリアガス流量や温度制御、発生圧力の制御が必要です
お客様のご用途に応じたマスフローコントローラや、液体の気化器、バルブ・ヒーター等をシステムアップしてご提供します。
