質量流量を計測
体積流量の計測では温度・圧力の補正が必要ですが、質量流量なら不要です。
デジタル/アナログ通信が可能
専用の制御電源ユニットやパソコンなどで制御・管理することができます。
腐食対応
腐食性や毒性の強いガスには、接ガス部に全てステンレス材を採用したモデルをラインアップ。
幅広い用途に対応
金属部品などの腐食試験装置などに多数採用されています。
省力化
電気信号により集中管理が行なえ、管理者の手間を減らしミスを減少します。
遠隔操作が可能
パソコンによる通信で、自動運転が行なえます。
マスフローコントローラは、流体（ガス・液体）の質量流量を計測し制御を行います。
質量流量での計測を行うため、使用環境（温度・圧力）の補正が必要ありません。
本体には、流量センサ、流量制御バルブ、フィードバック回路等を搭載し、外部より与えられる任意の流量設定信号に応じた流量を自動制御します。
質量流量制御を活かし、精度よく気体の流量計測・制御を行います。幅広い分野のニーズに対応する豊富な機種をラインナップしています。
液体の微小流量（0.001ml/ min〜）を精度よく計測・制御することが可能です。水、アルコールの他、特殊な液体にも対応が可能です。
すぐ確認できる
精密膜流量計を使用すれば、流量計の精度チェックを必要なときにすぐ行うことが可能。公的機関とのトレーサビリティもとれています。
流量検定器として使用可能
当社の精密膜流量計は、国家基準［国立研究開発法人 産業技術総合研究所、気象庁他］の検定を受けています。
精密膜流量計は、容積を正確に計測したガラス体積管内を、石鹸液の膜が移動する速度（時間）で流量を測定します。時間と温度、圧力（気圧）を同時測定し、自動補正を行うことで、正確な流量を計測します。
