混合ガスがつくれる
省コスト・省スペースに貢献
流量比混合法は、多成分のガスを各々正確に流量制御を行い、均一混合し、混合ガスとして発生します。ガス濃度はガス流量に比例し、流量を制御する事により、目的とする濃度の混合ガスを発生します。
下図に、二成分混合ガス発生（成分ガスの希釈）の例をご紹介します。
発生するガス成分に応じたマスフローコントローラを搭載し、簡単操作で混合ガスを発生できます。操作部にはタッチパネルを採用し、発生ガス濃度・流量の設定が行えます。
デジタル制御を採用した高精度モデルです。太陽電池生産用、各種研究・生産設備等に幅広く採用されています。
2成分から最大6成分のガス混合までラインアップを用意しています。制御用ソフトは、プログラム運転機能や、ガス濃度での設定機能等を有しており、各種研究開発用とに最適なガス発生システムとしてご提供いたします。
