小型で取付け自由
サンプリングラインが不要で、コンパクトなインラインガスモニタを用意しています。既存システムに容易に搭載可能です。
1台2役!
濃度の計測と制御が可能に
濃度制御バルブとのシステムアップにより、総合的な発生濃度システムが構築可能です。
インラインガス濃度モニタでは、赤外線吸収法に分類される、非分散型赤外線吸収法(NDIR)を採用しています。ガスを直接計測することにより、インラインでガス濃度が計測できます。
NDIR法を用いたコンパクトサイズのガス濃度モニタです。洗浄装置や、LED製造装置等で使用される特定のガス濃度を、インラインで計測できる濃度モニタとして、多数採用されています。
簡単操作で真空を計測
世界最小クラス※の計測部と簡単操作が可能な制御部により、取付け・操作性が向上しました。
※2012年12月当社調べ
残留ガス計測の必要性
微量水分や酸素などが成膜プロセスに影響を与えます。残留ガス分析の必要性が注目されています。
真空中のガス分析法には、四重極質量分析法があります。真空中の全圧だけでなく、分圧を計測し、微量なガス成分を分析する手法として認知されています。
四重極質量分析法を利用した、世界最小クラス※の残留ガス分析計です。各種真空装置のプロセス管理(品質向上・歩留まりの向上)に貢献しています。
(※2020年自社調べ)