高精度精密膜流量計 SF-1U・2U

概要

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタを組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不要です。

特長

  • 高精度:±0.5%、±1.0% 精度の流量測定が可能。
  • ガラス体積管内を移動する石鹸膜による流量測定。
  • LCD6桁デジタル表示による高精度を実現。
  • PCによる遠隔操作が可能。

製造会社: HORIBA STEC

仕様

SF-1U・2U

表示

LDC6桁デジタル表示(測定流量・測定時間・温度・設定気圧等を切り替え表示)

自動計測機能

AUTOモードにより2〜10回の自動計測及び平均値計算を実行(前回記憶データの呼び出し可能 電源OFFにて電源消去)

使用周囲速度

5〜40℃ 精度保証範囲(15〜30℃)

外部入出力

RS-232C 準拠

電源

ACアダプター(DC7V)駆動

VP-1U

流量測定範囲

0.2〜10mL/min

精度

0.5%(±1%)0.2〜2mL/min(2〜10mL/min)

対象ガス

N2、Air、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8など

注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可

使用周囲温度

5〜40℃ 精度保証範囲(15℃〜35℃)

外部入出力

RS-232C 準拠

VP-2U

流量測定範囲

2〜100mL/min

精度

0.5%(±1%)2〜20mL/min(20〜100mL/min)

対象ガス

N2、Air、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8など

注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可

使用周囲温度

5〜40℃ 精度保証範囲(15℃〜35℃)

外部入出力

RS-232C 準拠

VP-3U

流量測定範囲

20〜1000mL/min

精度

0.5%(±1%)20〜200mL/min(200〜1000mL/min)

対象ガス

N2、Air、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8など

注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可

使用周囲温度

5〜40℃ 精度保証範囲(15℃〜35℃)

外部入出力

RS-232C 準拠

VP-4U

流量測定範囲

0.2〜10 L/min

精度

0.5%(±1%)0.2〜1 L/min(1〜10 L/min)

対象ガス

N2、Air、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8など

注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可

使用周囲温度

5〜40℃ 精度保証範囲(15℃〜35℃)

外部入出力

RS-232C 準拠

外形寸法図・他(単位:mm)

外形寸法図

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