真空計測・ガスモニタ

半導体デバイスや液晶・太陽電池パネルなどにおける成膜チャンバーの全圧や残留しているガスの分圧を計測する質量分析計です。世界最小クラスのサイズ、最軽量化、高性能化を実現した新モデルです。

• 残留ガス分析計
• インラインガスモニタ
• FTIRガス分析計

四重極分析とは