堀場エステックのプロセスモニタリング機器で、品質の改善、不良の未然防止に、また各種制御機器へフィードバックコントロールすることで生産性向上に貢献します。

真空計測

コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

四重極質量分析計の測定原理を使った、コンパクトプロセスガスモニタ。チャンバ内に存在するガス成分をモニターするツールとして"真空の質"を管理します。

キャパシタンスマノメータ VGシリーズ

コンパクト、オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計

ガスモニタ

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-400 Series

プロセス装置に搭載し排ガス成分(SiF4、CF4)をリアルタイムにモニタリング可能。

ガス濃度モニタ IR-300 series

バブリング供給ライン用インラインガス濃度モニタ。材料ガスの安定供給に。

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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