コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

概要

真空チャンバの残留ガス分析に。
残留ガス分析計 MICROPOLE Systemは、半導体や液晶パネル、太陽電池などの成膜プロセスにおいて、チャンバの全圧及び残留しているガスの分圧を計測できる質量分析計です。質量検出部には9つの四重極部で構成し、「世界最小クラスのサイズ」「軽量化」「高圧化・低真空」を実現しています。
小規模真空チャンバや機能性フィルムの薄膜形成工程でのガス分析、ガスプロセス管理に最適です。

特長

  • 低真空(高圧)域0.9Pa(6.7mTorr)での操作可能、追加の設備が不要

  • 他社比20分の1の大きさ、センサ部わずか5cmのサイズ

  • ユーザーによるセンサ交換可能で休止期間なし

  • PC用ソフトで各種グラフ生成、わかりやすい結果表示
  • 9つの四重極部独自構造で省スペースを実現 
  • 汎用性の高い直径34mmのフランジを採用

■ユーザーメリット

分析による品質管理と稼働率の向上がコストダウンと生産拡大につながります。

MICROPOLE Systemは対象設備の直径34mmのフランジに取り付けられ、突起する長さも21~31mmと極小です。炉内圧力の管理や残留ガスの分析を行うことは、生産量の拡大と同時にコストダウンにも貢献します。

 


製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

測定原理

残留ガス分析計はイオン源、質量分析部、計測部から構成されます。残留ガスは高温のフィラメントから放出された熱電子と衝突しイオン化され、生成したイオンは加速・収束されて質量分析部に導かれます。質量分析部では4本の円柱形電極(四重極)に直流及び交流電圧を印加することにより、イオンの質量がふるい分けられます。分離されたイオンはファラデーカップで電流として検出され、このイオン電流が残留ガスの量(分圧)に比例します。

 

                  

MICROPOLE Sytemの特徴は、超精密光エッチング加工技術及びガラス/金属接合技術を駆使して四重極を9組組合わせた、MICROPOLE Analyzer(MPA)です。このMPAの開発により大型の質量分析装置と同等以上の性能を有しながら世界最小クラスの残留ガス分析装置が実現しました。本分析部はプラグイン方式のユニットタイプであり、あらかじめ分圧校正されたセンサユニットを装着するだけで全圧および分圧の絶対値を計測できます。 

                    

アクセサリ

■専用ソフトウェア「MICROPOLE SCANNER」で、計測状態をよりわかりやすく視覚的に。

パソコンへのデータ転送で、4つのグラフから分析結果の表示が可能。

  • 3Dグラフ

アナログスキャンデータに時間を表示させることにより、3次元でのデータ変化を表示します。(全マススキャン)

  • アナロググラフ

アナログスキャンでのスペクトルを表示します。(全マススキャン)

  • バーグラフ

質量数ごとにわかりやすいバーグラフでの表示も可能です。(全マススキャン・選択マススキャン)

  • トレンドグラフ

最大10成分の分圧変化を折れ線グラフで表示します。(全マススキャン・選択マススキャン)


価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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