デジタルマスフローコントローラ SEC-N100 Series for Bio process

概要

各種培養プロセスにおける、Air/O2/CO2などの流量制御に最適なデジタルマスフローコントーラ。

「SEC-N100シリーズ」は高速応答・高精度を実現したマスフローコントローラ。幅広い流量制御範囲・豊富な通信ラインアップで使用時のニーズに応えます。また、オールメタルでコンタミフリーのモデルです。

特長

各種通信方式でお客様のご用途に合うモデルをラインアップ

通信方式

駆動電源

製品型式

デジタル通信

・RS-485 F-Net protcol

アナログ通信

・0~5VDC

±15VDC(±5%)

SEC-N102 Series

DeviceNetTM通信

ODVA規格

SEC-N104 Series

CC-Link®通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

24VDC(13~32VDC)

SEC-N105 Series

プロフィバス通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

プロフィバス規格

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106 Series

 ※専用電源PE seriesをラインアップしております。

微少流量から大流量制御まで対応 

■流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。

 

 

流量精度の向上

■セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載

多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また多種のプロセスガス流量を高精度流量計測システムを用いて計測し、プロセスガス流量精度の向上を図っています。  

       

全流量域にわたる高速応答

 ■新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載:フルレンジ1秒以内

全流量域にわたる高速応答を可能とするVariable PIDアルゴリズム(特許出願中)を新たに搭載しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量に応じた最適PID係数を用いる制御方式です。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答を実現しています。ハイエンドモデル:SEC-Z500Xシリーズに標準搭載し半導体プロセスにおいて高い評価を得ています。

       

マルチガス・マルチレンジ機能を搭載

■専用ソフトウェアを用い簡単操作で仕様変更が可能に

新機能のマルチガス・マルチレンジ機能は、お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の使用ガスや流量レンジの仕様を変更できます。

コストパフォーマンスを最優先した新アイデア設計を採用

■ウルトラクリーン仕様をご要望のお客様はSEC-Z500Xシリーズをご検討ください。

■製品の仕様の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のための使用部品・生産手法などの変更は、お客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。


製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

SEC-N100_schematics
SEC-N100_schematics

※optek-Danulat社製品およびKnick製品につきましては、堀場アドバンスドテクノより回答いたします。 

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