化学・製薬

液体窒素冷却タイプの低ノイズ検出器で、近赤外領域を、高速・高感度で測定します。

共存ガスの影響を受けない高精度で安定性にすぐれた、磁気圧力方式（圧力検出形）を使用した酸素ガス分析計です。

原理：

小型でも高性能な分光器

高輝度ランプ、ダブルグレーティング分光器、アレイ検出器などを搭載し、紫外から近赤外領域までを高感度高速で発光スペクトルを取得可能。蛍光寿命機能など各種アップグレード可能。

電力用ボイラをはじめ、パッケージボイラ、工業炉および各種燃焼装置の煙道内にプローブを挿入し、酸素濃度を測定する装置です。

原理：

ラベルフリー生体分子間相互作用解析装置 OpenPlex は、細胞、タンパク質、ペプチド、核酸などの生体試料から薬物などの低分子化合物まで、あらゆる分子間の相互作用をラベルフリーかつハイスループットで解析する装置です。

CS-131は、半導体製造における洗浄工程のSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に使われるSC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広範囲なサンプル温度範囲に対応しました。

CS-152は、半導体製造における洗浄工程のSC-2溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。金属イオン除去に使われるSC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

CS-150は、半導体製造における洗浄工程のSPM溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。レジスト剥離や有機物の除去に使われるSPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。高速応答、短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

液体窒素冷却タイプの超低ノイズ検出器で、微弱光の検出に活躍します。