モジュール型蛍光分光光度計 Fluorolog-3

モジュール型蛍光分光光度計 Fluorolog-3は、これまでになかったコンポーネント組み合わせタイプの蛍光分光測定装置です。

蛍光分光光度計 FluoroMax-4

FluoroMax-4は、従来にない高感度と高速スキャンを両立した、実用性の高い蛍光分光光度計。世界のジョバンイボンの分光技術と、フォトンカウティング法により、検出器のノイズも除去。世界最高レベルのS/N比、3000:1を達成しています。高い感度を実現しているからこそ、数値も正確。分析環境のトータルな作業効率を高めます。また、3D表示と、扱いやすい操作体系のソフトウェア「FluorEssence」と、拡張性の高い充実のオプション群で、さまざまな測定に的確に...

FPM Monitor / CS-153

CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

CS-153N HF/HNO3 Monitor

CS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりHNO3/HF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

iHR320 Imaging Spectrometer

高分解能・高性能な中型モノクロメータで、多くのアプリケーションに適しています。

iHR550 Imaging Spectrometer

ユニークなデザインの、ユニークな分光器です。通常のCzerny-Turnerマウントの分光器のような、核型の分光器と異なるデザインは、きわめて高品位なイメージング性能を得るために、また、高いスループットを得るために採用されました。計算された光学設計により、CCD検出器を使用した場合、イメージングもしくはレゾリューションで最適化できます。数多くのアプリケーションに対応した、使いやすく、信頼性の高い中型分光器です。

InGaAs Array Detector

液体窒素冷却タイプの低ノイズ検出器で、近赤外領域を、高速・高感度で測定します。

 

磁気圧力式酸素分析計 MPA-5000

共存ガスの影響を受けない高精度で安定性にすぐれた、磁気圧力方式(圧力検出形)を使用した酸素ガス分析計です。

高精度医療O2
原理:磁気圧力式

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

HORIBA
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)