光ファイバ式薬液濃度モニタ <CS-100F1シリーズ>

概要

エッチング工程および洗浄工程における各種薬液濃度を高精度モニタリング
半導体製造におけるエッチング工程および洗浄工程で使用される各種薬液の高精度な濃度モニタリングを見つめた、HORIBAの薬液濃度モニタCS-100F1シリーズ。
光ファイバで光信号を伝播することで、試料セルを洗浄装置内配管に直接組み込み、インライン・リアルタイム測定を実現。
同時に、1台の濃度モニタで最大4種(薬液またはレンジ)の測定を可能とし、ワンバス・枚葉方式洗浄装置での1ライン複数薬液のマルチモニタリングも実現しました。
また、フィードバック濃度コントロールが必要な精度重視の測定に対応して、セルユニットタイプもご用意しています。

特長

  • 1台の濃度モニタで最大4種(薬液またはレンジ)まで測定できるマルチモニタリング。
    1台のモニタに、最大4種(薬液またはレンジ)の校正係数を記憶させることにより、ワンバスや枚葉方式の洗浄装置のように、1ロットで複数薬液(または、異なる薬液比率)の濃度モニタが可能です。
  • 約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート。
    約3秒と短い測定周期で高速応答性を実現。マルチバスはもちろん、ワンバス・枚葉方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。
  • リアルタイムの濃度追従を実現するインライン測定。精度重視のセルユニットタイプもご用意。
    洗浄装置のメイン配管に直接組み込むことができるインラインセルの使用により、リアルタイムの濃度追従を可能としました。また、安定性を重視したセルユニットタイプもラインナップし、モニタ出力を用いたフィードバック制御にも対応。薬液濃度値の許容範囲を保つとともに、無駄な薬液交換をなくすこともできます。
  • 洗浄装置の省スペース化に貢献する軽量コンパクト設計。
    床面積で当社従来比約2/3のコンパクト設計により、洗浄装置の省スペース化に貢献。洗浄装置への組み込みが容易にできるほか、軽量なので洗浄装置の上に設置することも可能です。
  • 洗浄工程でのロット不良減少により歩留まり向上。
    モニタ出力を用いて各成分薬液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩留まり向上に貢献します。
  • 電気部と測定部の完全分離により安全性が向上。
    光ファイバを光源信号の伝導に使用することで、濃度モニタとセルの完全分離設置を実現。濃度モニタを薬液雰囲気外に設置できるので、腐食などの心配がありません。

インラインタイプ

洗浄装置のメイン配管に直接組み込むことができるインラインセルの使用により、リアルタイムの濃度追従を可能としました。
インラインタイプ

セルユニットタイプ

モニタ出力を用いたフィードバック制御にも対応。薬液濃度値を許容範囲に保つとともに、無駄な薬液交換をなくすこともできます。
セルユニットタイプ


製造会社: HORIBA

仕様

型式

CS-151F1

CS-152F1

CS-150F1

測定対象

SC-1
(アンモニア/過酸化水素水溶液)

SC-2
(塩酸/過酸化水素水溶液)

SPM
(硫酸/過酸化水素水溶液)

1台で最大4種(薬液またはレンジ)までのマルチモニタリングが可能です。

測定原理

吸収分光法

濃度算出原理

温度補償型多変量解析法

測定範囲
(質量%)

NH3
0.00%〜1.00%
H2O2
0.00%〜5.00%
H2O:
94.0%〜100.0%

HCl:
0.00%〜2.00%
H2O2
0.00%〜2.00%
H2O:
96.0%〜100.0%

H2SO4
70.0%〜96.0%
H2O2
0.00%〜10.00%
H2O:
4.0%〜30.0%

再現性精度
(室温変化±1℃以内)
(質量%)

NH3:±0.15%
H2O2:±0.30%
H2O:±1.5%

HCI:±0.15%
H2O2:±0.15 %
H2O:±1.5%

H2SO4:±0.50%
H2O2:±0.50%
H2O:±1.5%

試料液温度

20〜80℃(インラインセル使用時)
20〜30℃(セルユニット使用時)

測定周期

約3秒

液晶ディスプレイ部
表示および入力内容

・第1成分 濃度測定値(%)
・第2成分 濃度測定値(%)
・第3成分 濃度測定値(%)
・第1、2成分 濃度警報状態
・エラーコード
・パラレル濃度警報出力無効状態
・シリアル/パラレル状態
・バックグラウンド補正情報

シリアル入力
RS-232C

・シリアル/パラレル状態切替
・測定データ転送要求
・第1、2成分濃度警報値設定
・パラレル濃度警報出力状態(有効/無効)
・測定対象薬液切替

パラレル入力

フォトカプラ絶縁による電圧入力(DC12〜30V)
・パラレル濃度警報出力
・測定対象薬液切替
・バックグラウンド補正

パラレル出力

フォトカプラ絶縁によるオープンコレクタ出力
ON時最大電流:DC5mA(内部保護抵抗なし)
OFF時最大引火電圧:DC30V
・第1成分濃度警報4種
・第2成分濃度警報4種
・装置異常
・測定中
・測定対象薬液種
・バックグラウンド補正状態

薬液温度入力

端子台取合い(端子ネジM3)
・白金測温抵抗体:Pt100(Ptセンサは顧客にてご用意ください。)

アナログ出力

・第1成分濃度警報4種:4〜20mA
・第2成分濃度警報4種:4〜20mA
※測定レンジ仕様以外にも対応いたします。発注時にご指定ください。

光ファイバ

CS-100F1シリーズ専用光ファイバ(設置温度25±15℃)

サンプルセル

ご希望の薬液種に対応する専用サンプルセル(インラインセル、セルユニット)を各種用意しています。

電源

AC 100V〜230V(単相)±10%、50/60Hz、約100VA

外形寸法

205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部を除く)

質量

約11kg

<注記>上記以外の薬液種の濃度モニタに関しては別途ご相談ください。

外形寸法図・他(単位:mm)

外形寸法図(単位:mm):濃度モニタ
外形寸法図(単位:mm):インラインセル
外形寸法図(単位:mm):セルユニット

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

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