Industry
Symphony IGA検出器
概要
SymphonyIGA検出器は、液体窒素冷却方式を採用し、0.8μm~1.6μm、1.05μm~2.05μmの波長をカバーする高い量子効率を持ったInGaAsアレイ検出器で、それぞれ512x1(25×500μm)、512×1(50×250μm)、1024×1(25×250μm)のピクセルフォーマットから選択が可能です。液体窒素で素子を-103℃まで冷却し、ノイズを極限まで落としていますので、NIR領域の微弱光の検出に威力を発揮します。
特長
- 分光アプリケーションに特化した設計。
- 低ノイズで、NIR領域で最高感度が得られます。
- 2つのゲイン(High SensitivityとHigh Dynamic Range)の選択が可能で、アプリケーションに適した選択が可能
- 優れたリニアリティ
- USB2.0インターフェースを搭載
- 入出力トリガは、ユーザプログラマブル
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
| SymphonyIGA-1700 | SymphonyIGA-2200 |
---|---|---|
波長レンジ*1 | 800nm〜1600nm | 1050nm〜2050nm |
ピクセル | 512X1,512X1,1024X1 | 512X1,512X1,1024X1 |
ピクセルサイズ | 25×500,50×500,25×500μm | 25×250,50x250,25x250μm |
リードアウトノイズ HiS Mode | 0.5〜0.8Ke-rms (Typical) | 0.5〜0.8Ke-rms (Typical) |
リードアウトノイズ HiD Mode | 5〜8Ke-rms (Typical) | 5〜8Ke-rms (Typical) |
Full Well Capacity HiS Mode | 5Me- (Typical) | 5Me- (Typical) |
Full Well Capacity HiD Mode | 130Me- (Typical) | 130Me- (Typical) |
ダークカレント | 2.5ke-/pixel/S (Typical) |
1.2Me-/pixel/S (Typical) *2 2.4Me-/pixel/S (Typical) *3 |
ノンリニアリティ | ±1%以下 | ±1%以下 |
ゲイン HiS Mode | 75e-/count | 75e-/count |
ゲイン HiD Mode | 2000e-/count | 2000e-/count |
ダイナミックレンジ | 16ビットADC | 16ビットADC |
冷却方法 | 液体窒素冷却 | 液体窒素冷却 |
検出素子温度 | -103℃ | -103℃ |
インターフェース | USB2.0 | USB2.0 |
欠陥ピクセル *4 |
最大5Pixel以内 *5 最大10Pixel以内 *6 |
最大10Pixel以内 *5 最大20Pixel以内 *6 |
Software Development Kit | オプション | オプション |
LabVIEW Vis | オプション | オプション |
*1 -103℃でご使用の場合
*2 25×250μmチップ
*3 50×250μmチップ
*4 ダークスポットまたは、ホットスポットの数
*5 512チャンネルタイプ
*6 1024チャンネルタイプ
常温での量子効率
SymphonyIGA-1700
SymphonyIGA-2200
IGAチップデータシート
Type | LN Cooling |
---|---|
SymphonyIGA-1700 | |
SymphonyIGA-2200 |
アプリケーション
3インチInGaAsウエハの波長マッピング
Symphony IGAアレイ検出器を使用して、InGaAsウエハのマッピング測定を行いました。シングルチャンネル検出器では、ある特定の波長での強度マッピングの情 報しか得られませんが、アレイ検出器の場合、各測定点でスペクトル情報が得られるため、ピーク波長、半地幅、ピーク位置での強度のマッピング情報が得られ ます。もちろん、ある波長での信号強度のマッピングも得ることが出来ます。
FHR640+SymphonyIGAで測定
シリコン中の不純物の定量分析
シリコン中の不純物(P、B、Al、As)濃度の定量分析が高速で行えます。通常、Ge検出器 か、PMT検出器を使用し、分光器をスキャンして、近赤外領域を高分解能測定しなければ得られなったスペクトルが、SymphonyIGAアレイ検出器を 使用することにより、数秒から数十秒でSNの良いスペクトルが得られます。不純物の定量分析を行う場合、波長領域の異なる2つのスペクトルが必要ですが、 FHR1000との組み合わせで、高速測定が可能になりました。
FHR1000+SymphonyIGAで測定
InGaAsのフォトルミネッセンススペクトル
<Extendedタイプ>
SynapseIGA- 2200、SymphonyIGA-2200は、長波長側にカットオフ波長が伸びています。これは、InGaAsのフォトルミネッセンススペクトルですが、通常タイプ(SynapseIGA-1700、SymphonyIGA-1700)で測定すると、検出器の長波長側の限界から、ピーク位置が、短波長側へシフトしてしまいます。(青色のスペクトル)SynapseIGA-2200、 SymphonyIGA-2200では、2000nm以上まで、感度があるため、1650nmのピークが正確に測定されています。(赤色スペクトル)
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カタログ
アプリケーションノート
外部量子効率の測定による新しい光応答性材料の評価 Evaluation of Novel Photoresponsive Materials via EQE Measurements
ダイアモンド膜の品質保証 Quality Assurance of Diamond films.
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InGaAs/GaAs量子ドットの フォトルミネッセンス Photoluminescence of InGaAs/GaAs Quantum Dots.
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