Industry
その他
JIS B 7956「大気中の炭化水素自動計測器」に規定された水素炎イオン化検出法(FID)に基づく装置です。VOCの除外装置評価や、触媒実験用低濃度HC測定に活用できます。
原理:
JIS B 7951「大気中の一酸化炭素自動計測器」に規定された非分散形赤外線吸収方式(NDIR)に基づく測定装置です。ミルクパウダーなどの防塵防爆管理、バルクガス管理や燃焼器具排ガス測定に活用できます。
原理:
JIS B 7953「大気中の窒素酸化物自動計測器」に規定された化学発光方式(CLD)に基づく測定装置です。光触媒のガス濃度管理、脱硝触媒の性能評価実験、クリーンルームの雰囲気監視や文化財の保存環境に活用できます。
原理:
JIS B 7953「大気中の窒素酸化物自動計測器」に規定された化学発光方式(CLD)に基づく測定装置です。光触媒のガス濃度管理、脱硝触媒の性能評価実験、クリーンルームの雰囲気監視や文化財の保存環境に活用できます。
原理:
JIS B 7957「大気中のオゾンおよびオキシダントの自動計測器」に規定された紫外線吸収方式(NDUV)に基づく測定装置です。食品工場などのオゾン管理、プリンタなどでの発生O3量確認や文化財の保存環境に活用できます。
原理:
JIS B 7952「大気中の二酸化硫黄自動計測器」に規定された紫外線蛍光法(UVF 法)に基づく測定装置です。クリーンルーム内の雰囲気監視や文化財の保護環境に活用できます。
原理:
JIS B 7952「大気中の二酸化硫黄自動計測器」に規定された紫外線蛍光法(UVF 法)に基づく測定装置です。クリーンルーム内の雰囲気監視や文化財の保護環境に活用できます。
原理:
CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。
鉄鋼、新素材、触媒など世界最先端技術の技術開発や品質管理に欠かせない高精度でスピーディな元素分析を実現するツール。ユーザの要望を最大限に反映させた新世代モデル。