半導体

小型でも高性能な分光器

カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。

SEMに取付るだけカソードルミネッセンススペクトルを簡単測定。

生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。

液体窒素冷却タイプの超低ノイズ検出器で、微弱光の検出に活躍します。

鉄鋼、新素材、触媒など世界最先端技術の技術開発や品質管理に欠かせない高精度でスピーディな元素分析を実現するツール。ユーザの要望を最大限に反映させた新世代モデル。

研究開発用途に最適な、高精度・高分解能な大型モノクロメータ

紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISEL Plusは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISEL Plusは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISEL...

薄膜（膜厚）測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

抜群の高感度、低ノイズで、微弱光の検出に活躍します。