半導体

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

各種培養プロセスにおける、マスフローコントローラの定期校正に

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタ(実用新案登録)を組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不...

低迷光アプリケーションおよび単色光源に最適なダブルモノクロメータ

高温環境対応、サーマルバルブ搭載のマスフローコントローラ

高温環境対応のマスフローメータ

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

Integrated management with an in-situ real time monitor "DIGI Series" for next-generation thin-film processes

rf-GD-OES（GDS）分析装置は、Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ、スパッタされた原子を原子発光させることで、元素分析を行う、迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置として、薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。

生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。