Industry

ローコストマスフローコントローラ SEC-E40MK3/50MK3

概要

MARK3シリーズは、マスフローコントローラに必要な品質を変えることなくコストダウンの可能性を徹底的に追求した量産モデルです。主用途にプロセス用のガス流量制御を想定し、再現性に重点を置いた調整とガスの種類・流量を限定して量産することにより、大幅なコストダウンを実現しました。定流量、長時間の安定制御や繰り返し制御用として最適です。また研究室用の簡易流量制御用としても適します。

特長

幅広い用途に対応　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　一般産業市場において多数の納入実績
コストメリットを追求し、ローコストを実現

製造会社: HORIBA STEC

仕様

SEC-E40MK3

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
バルブ形式	非通電時:閉
標準流量レンジ	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.（フルスケール）
流量精度	±1.0％ F.S.（フルスケール）
校正ガス種	N₂.O₂.Air.Ar.H₂.He

SEC-E50MK3

接ガス部材質	SUS-316、バイトン
バルブ形式	非通電時:閉
標準流量レンジ	20/30 SLM
流量制御範囲	2〜100％ F.S.（フルスケール）
流量精度	±1.0％ F.S.（フルスケール）
校正ガス種	N₂.O₂.Air.Ar.H₂.He

外形寸法図・他（単位：mm）