Industry
マスフローコントローラ SEC-6470/series
概要
大流量(〜1000SLM)対応のマスフローコントローラです。
独自の空圧メタルダイヤフラムバルブの採用により、大流量ながらオールメタル構造を実現したモデルです。
特長
- 1000SLM(N2)までの流量制御に対応
- メタルO-リング、独自開発の空圧メタルダイアフラムバルブを搭載(Mタイプ)
製造会社: HORIBA STEC
大流量(〜1000SLM)対応のマスフローコントローラです。
独自の空圧メタルダイヤフラムバルブの採用により、大流量ながらオールメタル構造を実現したモデルです。
製造会社: HORIBA STEC