マスフローコントローラ SEC-6470/series

概要

大流量(〜1000SLM)対応のマスフローコントローラです。
独自の空圧メタルダイヤフラムバルブの採用により、大流量ながらオールメタル構造を実現したモデルです。

特長

  • 1000SLM(N2)までの流量制御に対応
  • メタルO-リング、独自開発の空圧メタルダイアフラムバルブを搭載(Mタイプ)

製造会社: HORIBA STEC

仕様

SEC-6470

 

接ガス部材質

Mタイプ:SUS-316L、Rタイプ:SUS-316L、バイトン

バルブ形式

非通電時:閉

標準流量レンジ

100/200/300/500 SLM

流量制御範囲

5〜100% F.S.(フルスケール)

流量精度

±2.0% F.S.(フルスケール)

 

 

外形寸法図・他(単位:mm)

schematics
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