ドライプロセス

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

体積管と石鹸膜ディテクタを組み合せ、ワンタッチ操作でガスの流量計測が可能。体積管内を移動する石鹸膜の移動時間を測定、大気圧・気温の値から自動補正し、ガスの流量を算出します。

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

バイオリアクターの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラ。各種培養プロセスにおける排気圧制御に最適です。

高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能制御を実現した排気圧コントローラ

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。