半導体製造プロセスでの効率生産を分析技術が支えています


薬液コントロール

半導体製造プロセスに欠かせない薬液の濃度をモニタリングしています。

ウエハ上に付いた異物をおとす洗浄工程と、ウエハ上の膜をけずるエッチング行程に薬液が使用されており、この薬液を使用する行程をウエットプロセスと呼んでいます。
ウエハの洗浄は、通常RCA洗浄法に基づいた化学的洗浄法が導入され、SC-1(水5に対して過酸化水素1水酸化アンモニウム1の溶液)と、SC-2(水5に対して塩酸1過酸化水素1の溶液)の二段階での洗浄が行われます。ウエットエッチングにはフッ酸が多く使用されています。
HORIBAでは、SC-1をはじめとした、各薬液の濃度モニタを提供。ウエットプロセスの効率化に貢献しています。


低濃度SC-1モニタ CS-121F1

インライン・リアルタイム測定可能な、光ファイバ式薬液濃度モニタに、低濃度SC-1を高精度で測定できる低濃度SC-1モニタ CS-121F1が新登場。
光ファイバで光信号を伝播して、試料セルを洗浄装置内配管に直接組み込む方式で、インラインタイプ・セルユニットタイプをラインアップしています。


■薬液濃度モニタの多様なラインアップ


ガスコントロール

ウェハ上に金属・酸化物を生成するガスの流量をコントロールしています。

マスフローコントローラは、ガス流量を計測・制御するキーデバイス。
金属や酸化物などをウェハ上に化学蒸着する場合のガス流量を適正にし、生産効率を上げています。
これからの照明となるLED・OLED、エネルギーのあり方を提案する太陽電池での生産工程においても、化学蒸着は必要な技術。
マスフローコントローラによる流量制御は、生産効率向上の重要技術となっています。

LED・有機EL&太陽電池半導体


LED・有機EL&太陽電池

デジタルマスフローコントローラ SEC-N100シリーズ [ガスコントロール技術を、幅広く活かす汎用タイプ。]

「SEC-N100シリーズ」は半導体分野で高い支持をいただいているマスフローコントローラの技術をベースに、「太陽電池パネル」「燃料電池」「LED」の研究・製造用など、幅広い産業分野で活用いただけるよう高性能かつコストパフォーマンスを追及した製品です。通信方式もデジタル/アナログ、DeviceNet™、プロフィバスの通信モデルを選択できるほか、用途に合ったサイズ・流量制御範囲をご用意。お客さまのニーズにこまやかに対応できる多様な製品をラインアップしています。

  • 流量精度の向上
    セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載。
  • 全流量域にわたる高速応答
    新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載:フルレンジ1秒以内。
  • マルチレンジ・マルチガスを搭載
    専用ソフトウェアで流量レンジ・使用ガスを変更できます。

シリーズラインアップ


半導体

プレッシャーインセンシティブマスフローコントローラ SEC-Z700Xシリーズ [最先端の半導体製造ニーズに応える。]

ナノレベルの微細化プロセスの進化によって、生産性のさらなる追求から、より高精度な流体制御とガス供給システムの構築を同時に行う必要が高まっています。
プレッシャーインセンシティブマスフローコントローラSEC-Z700Xシリーズは、デジタル補正機能により流量精度を向上し、全流量領域にわたって1秒以内の高速応答を実現。
本体内にガス圧センサを内蔵し、圧力センサを省いたシンプルなガスラインを実現します。

  • 流量精度の向上
  • 全流量域にわたる高速応答
  • マルチレンジ・マルチガス機能を搭載
  • RoHS指令に対応
  • PI性能
    ガスラインのシンプル化を実現する高性能モジュールを搭載。
  • マルチディスプレイ
    メンテナンス等本体の動作状態を確認できる機能を搭載。

マルチディスプレイ