ナノレベルのガス計測に対応

HORIBAの微量ガス分析装置は、微量ガス分析の技術と実績を活かして、 ppb~ppmのナノレベルの高精度連続分析が可能です。測定対象ガスの種類にあわせて、最適な測定原理を採用したラインアップで、多様なニーズにこまやかに対応します。

GA-370 微量ガス分析計

GA-370は水素製造プラント、空気分離プラント、半導体製造など、ガス製造設備の品質管理として、微量不純物(CO, CO2, CH4)を超高感度、高精度に常時連続モニタリングが可能です。

窒素酸化物(NOx)濃度測定装置 APNA-370

NOx濃度測定装置APNA-370は、JIS B 7953「大気中の窒素酸化物自動計測器」に規定された化学発光法(CLD)に基づく測定装置です。長期安定性を確保する流路変調(クロスフローモデュレーション)方式を採用、同一の測定セルと検出器で計測するため、信頼性のある測定値を得ることが可能です。

用途

大気汚染監視光触媒のガス濃度管理脱硝触媒の性能評価実験クリーンルームの雰囲気監視文化財の保存環境 

一酸化炭素(CO)濃度測定装置 APMA-370

CO濃度測定装置APMA-370は、JIS B...

硫黄酸化物(SO2)濃度測定装置 APSA-370

SO2濃度測定装置APSA-370は、JIS B 7952「大気中の二酸化硫黄自動計測器」に規定された紫外線蛍光法(UVF 法)に基づく測定装置です。芳香族炭化水素カッタを内蔵し、干渉成分を低減しています。また、低バックグラウンドを実現する独自の測定セルにより、高感度・高安定性を確保しています。

用途

大気汚染監視クリーンルーム内の雰囲気監視文化財の保存環境

オゾン(O3)濃度測定装置 APOA-370

O3濃度測定装置APOA-370は、JIS B...

全炭化水素(THC)濃度測定装置 APHA-370

全炭化水素(THC)濃度測定装置APHA-370は、JIS B...

APSA-370/CU-1

H2S濃度測定装置APSA-370/CU-1は、酸化触媒を用いて、H2SをSO2へ変換後...

APNA-370/CU-2

NH3濃度測定装置APNA-370/CU-2は、酸化触媒処理後の増加窒素酸化物...

半導体プロセスガス分析