微量ガス分析計 GA-370

概要

GA-370は水素製造プラント、空気分離プラント、半導体製造ラインなど、ガス製造設備の品質管理として、微量不純物(CO, CO2, CH4)を超高感度、高精度に常時連続モニタリングが可能です。

特長

  • 超高感度分析を実現

    クロスフローモデュレーション方式非分散赤外線吸収法(NDIR)の採用により、長期にわたり安定した連続測定が可能なゼロドリフトフリーを実現しました。

    最小検出感度10 ppbの高感度化により、精度が求められる現場に最適です。

  • 純ガス中の微量測定が可能

    代表的なガスである、N₂、O₂、HeArH₂、Airに対応しています。
       ※その他のベースガスについては別途お問い合せください。

  • 簡単操作、メンテナンスフリー

    使用にあたり、特殊な操作は必要ありません。校正や測定など、すべての操作が画面上で行えます。

    光学調整が不要なHORIBA独自のクロスフローモデュレーション方式の採用により、メンテナンスフリーを実現しました。

    カラータッチパネルを採用し、液晶画面によりグラフ表示も可能になり、視認性が向上しました。

 


製造会社: HORIBA

仕様

形式

GA-370

測定対象

ベースガス(N2、O2、He、Ar、H2、Air)中のCO、CO2、CH4 

測定成分数

1成分または2成分(測定ベースガス指定)

測定原理

クロスフローモデュレーション方式非分散赤外線吸収法 (NDIR)

測定レンジ

0~1/2/5/10 ppm

最小検出感度(2σ)

10 ppb

繰り返し性(再現性)

フルスケールの±2%以内

指示誤差(直線性)

フルスケールの±2%以内

ゼロドリフト

±0.02 ppm以内/日、±0.03 ppm以内/週

スパンドリフト

フルスケールの±2%以内/日、フルスケールの±3%以内/週 

応答速度(T90

180秒以下

使用ガス流量 ※

サンプルガス:約3.5 L/min、比較ガス:約3.5 L/min、スパンガス:約3.5 L/min
サンプル、比較ガスライン共、圧力50 kPa ~ 100 kPa推奨

アナログ出力

2ch 絶縁出力 (濃度)
0~1 V、0~10 V、0~16 mA、4~20 mA、0~20 mAから1つ選択
電流出力: 許容負荷抵抗 750Ω以下

設置条件

周囲温度: 0~40℃
周囲湿度: 相対湿度 85%以下
粉塵: 環境基準以下
振動: 100 Hzにて、0.29 m/s2以下

外形寸法、質量

430(W) x 221(H) x 555(D) mm (突起物を除く)、約18 kg

電源

AC 100~240 V ±10%以内(最大電圧:250 V)

消費電力

定常時 約100 VA

※注1) 比較ガス(ゼロガス)、スパンガスはお客様にてご準備をお願いします。測定対象ガスと同一ベースで、純度は最小レンジの0.1% 以下のものをご使用ください。スパンガス濃度は保証期間や、安定性の面から約9 ppmのものが便利です。

※注2) 本製品は防爆製品ではありませんので、非防爆地域でご使用ください。測定対象ガスがH₂、O₂の場合、特に安全性を考慮してご使用いただくと共に、ガス漏れ警報器、パージシステムの設置を推奨します。