装置搭載型 非接触放射温度計 IT-470F-H

概要

自社開発の高感度サーモパイルセンサを搭載し、長年の放射温度計開発のノウハウを結集して実現した、業界最高精度の装置搭載型放射温度計です。
半導体・FPD製造など、高精度な温度測定が必要な分野で、プロセスの安定性向上に貢献します。

特長

  • 高い絶対精度:±0.1°Cと再現性(2σ):0.1°Cを実現
  • 測定距離150mmにおいてΦ8mmの狭視野を実現
  • 汎用性の高い電流出力と、電磁誘導ノイズの影響を受けにくい光デジタル出力の2系統の出力を用意

※一定条件下で使用した場合の実力値です。

用途

  • サセプタが真空チャンバー内にある場合の温度測定例
    窓を通して真空チャンバーの外からサセプタの温度測定が可能です。
  • FPD製造プロセスにおける液晶基板の表面温度測定例
    非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。
  • 研磨時の温度管理例
    非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。

注記
本製品の性能を最大限に引き出すため、お客様のご用途の詳細(測定対象物や設置環境など)をもとに、お打合せ、お見積させていただきます。


製造会社: HORIBA

仕様

測定波長

8〜14μm

測定温度範囲

-50〜200℃

出力分解能

光デジタル出力:0.1℃、電流出力:0.025%FS以下

測定精度
(光デジタル出力)

±4.0℃(対象温度 -50℃)
±0.8℃(対象温度 -20℃)
±0.6℃(対象温度 0℃)
±0.5℃(対象温度 23℃)
±0.4℃(対象温度 100℃〜)
(中間点は、直線補間し、小数点以下第2位を四捨五入する)

再現性
(光デジタル出力)

0.7℃(対象温度 -50℃)
0.5℃(対象温度 23℃)
0.5℃(対象温度 200℃)
(放射率1.000の場合、10回測定、2σ)

応答速度
(光デジタル出力)

光デジタル出力:1.4秒以下(移動平均1秒、95%応答)

データサンプリング周期

0.1秒

データ送信レート

光デジタル出力:0.2秒、電流出力:0.1秒

測定視野

Φ8mm以下/距離150mm(入射光量90%)

放射率設定

0.001〜0.999任意(工場出荷時に設定)

使用温湿度範囲

温度0〜55℃、相対湿度35〜85%RH(結露無きこと)

電源

DC24V±5%

機能

光デジタル出力(JIS F05型)、電流出力 4〜20mA(負荷抵抗100Ω、非絶縁) フランジによる光軸調整済み

外形寸法

55×44×96mm 電源、電流ケーブル付き(標準長さ2m)

質量

300g以内

※条件:周囲温度24〜29℃(温度計取り付け部の温度も含む)、湿度55±20%、放射率補正設定1.000、外乱なきこと。