冊子版 最新号
最新号をご覧いただけます。
HORIBAでは、技術情報誌としてReadoutを発行しています。誌名“Readout（リード・アウト）”には、HORIBAが創造・育成した製品や技術に関する情報を広く世にお知らせし、読み取って頂きたいという願いが込められています。
ポストコロナの医療・ヘルスケア分野では、遺伝子改変細胞の安全性評価や免疫機能の解析に加え、使いやすく迅速で精度の高い診断技術、さらにバイオ医薬品の品質を確保するための技術開発の重要性が高まっています。本号では、「次世代医療に貢献す…
本号では，デジタル化が急速に進む社会において，HORIBAの自動化とデジタルトランスフォーメーション技術で，自動車の試験・開発，材料分析，大気・水質環境，医療，製薬，燃料電池，半導体，さらにはサービスメンテナンスの多岐に渡る分野にお…
Abstract
半導体製造プロセスでは, ドライエッチング等の技術を用いてnmオーダーの微細化が進んでいる。 最先端のエッチングプロセスにおいては様々なパラメータを制御・モニタリングすることでプロセスコンディションを管理しており, ”温度”は非常に重要なパラメータの一つである。 特に,…
