こんなお困りごとはありませんか?

  • ウェハ(SiやSiC等)の応力を測定したい
  • 量子ドットの発光や発光寿命を見たい
  • ワイドギャップ半導体の欠陥を評価したい
  • ウェハや薄膜中の元素、不純物を測定したい

...など、なんでもご相談ください

解決例

1. 多層膜の膜厚を知りたい

<ソリューション>

分光エリプソメータは非破壊・非接触で多層膜の膜厚を求めることができます。
またマッピング測定により、膜厚の面内分布もわかります。


2. 半導体部品の洗浄効果を知りたい

<ソリューション>

液晶や半導体関連装置に使用される部品表面に微量の汚れが残っていると、装置性能に支障をきたす恐れがあります。部品の残渣イオン分析や油分分析により、品質評価や洗浄工程を検討できます。

分析のご依頼の流れ

有償依頼分析
  1. お問い合わせ
  2. 測定内容打合せ
    専門スタッフもしくは、分析担当者がお話を伺います。
  3. 見積もり
    お客様のご依頼にあったプランを提案いたします。
  4. ご注文
  5. 測定実施
    試料送付のみ、もしくは立会いのもとでの測定を実施します。
  6. 結果ご報告
  7. 費用のお支払