次代を担うクリーンなエネルギーとして期待がかかる太陽電池。その製造プロセスをくまなく見つめて、HORIBAの分析・制御装置は多彩なニーズに優れたパフォーマンスを発揮します。半導体・FPDプロセスで培った豊富な実績と高い信頼性で、太陽電池製造の高効率化・高品質化に貢献します。
高周波誘導加熱炉方式で試料を燃焼させ炭素濃度を測定。キャリアガス中に含まれる極微量のTHCを除去することにより、極微量炭素の高精度分析を実現。
シリコン中の不純物(P、B、Al、As)の高感度定量分析が可能です。
柔軟性や廃棄性で有益であることから、今後が期待されている有機薄膜太陽電池の薄膜評価例です。
有機半導体薄膜や透明電極の膜厚、光学定数の評価例から、異方性材料も評価可能。
シリコンのラマンスペクトルのピーク位置や半値幅から結晶性の評価が可能です。