[エネルギー/発電] 太陽電池先端材料

セル変換効率向上・高品質化、セル寿命・耐久性向上、歩留向上に貢献します。

次代を担うクリーンなエネルギーとして期待がかかる太陽電池。その製造プロセスをくまなく見つめて、HORIBAの分析・制御装置は多彩なニーズに優れたパフォーマンスを発揮します。半導体・FPDプロセスで培った豊富な実績と高い信頼性で、太陽電池製造の高効率化・高品質化に貢献します。

SOG-Si中の不純物分析

炭素分析装置
EMIA-920V2

高周波誘導加熱炉方式で試料を燃焼させ炭素濃度を測定。キャリアガス中に含まれる極微量のTHCを除去することにより、極微量炭素の高精度分析を実現。

単結晶Si中の不純物分析

高感度不純物定量分析装置
Photoluminor-D

シリコン中の不純物(P、B、Al、As)の高感度定量分析が可能です。

薄膜の膜厚、膜質評価

分光エリプソメータ
UVISEL Series

柔軟性や廃棄性で有益であることから、今後が期待されている有機薄膜太陽電池の薄膜評価例です。

有機半導体薄膜や透明電極の膜厚、光学定数の評価例から、異方性材料も評価可能。

Si結晶性評価

顕微レーザラマン分光測定装置
LabRAM HR-800

シリコンのラマンスペクトルのピーク位置や半値幅から結晶性の評価が可能です。