コーティング〜真空・プラズマ・濃度計測〜

ロジック、メモリ、通信デバイスやディスプレイといった電子デバイスの機能が向上するにつれて、微細化や構造の複雑化が進んでいます。それに伴い、生産プロセスにおける各種ファクターの高精度な測定や制御の必要性も高まっています。中でも、真空チャンバ内の不良に繋がる残留成分、チャンバ内のコンディションにより不安定になるプラズマや保存状態の影響を受けやすい液体材料の気化濃度などに対しては、特に精密な制御が求められています。当社の幅広い計測技術で、チャンバ内のさまざまな測定・制御に対応します。


デジタルマスフローコントローラ[気体]

  • 気体の流量を正確に測定・制御する流量制御機器
    お客様のご要望に合わせたモデルをラインアップ
  • お客様自身で仕様変更が行える便利な機能を標準搭載
  • RoHS指令対応

ベーシックモデル
SEC-N100シリーズ

希望販売価格(税抜)¥190,000~

デジタル通信/アナログ通信兼用モデル
[電源]±15VDC
[流量レンジ]10SCCM〜1000SLM
[流量精度]±1%S.P(セットポイント)
24V駆動 電流・電圧制御、DeviceNet™、CC-Link®、豊富な通信形式をラインアップ(価格は異なります)
専用の制御ユニットPEシリーズもご用意しています。
流量精度は、SEMI規格E56-1296に準拠しています。

※(株)堀場エステック製品
DeviceNet™は、Open DeviceNet Vender Associationの商標です。
CC-Linkは三菱電機株式会社の登録商標であり、CC-Link協会が管理する商標です。

キャパシタンスマノメータ

  • 自己温調型は最小クラス
    ※当社調べ(2017年4月)
  • 独自の電極構造により高精度・高安定性を実現
  • 腐食性に強いオールメタル構造

小型のキャパシタンスダイヤフラムゲージ
VGシリーズ

希望販売価格(税抜)¥290,000~

[測定範囲]1/10/100/1000Torr F.S.
[自己加熱温度]55℃/100℃
[‌精度]0.25%R.S.
[電源]±24V or ±15V駆動
アラーム出力/セットポイント出力/
※専用表示ユニットをご用意しています

※(株)堀場エステック製品

インライン ガス濃度モニタ

  • リアルタイムモニタリング
    コンパクト&シンプル設計
    面間サイズ 124mm
    取り付け姿勢も自由のコンパクト設計
  • マルチディスプレイ機能
    本体上部のマルチディスプレイにて、濃度値、圧力、温度を表示
  • 通信機能
    IR-302M:アナログ 0-5V、デジタル RS-485
    IR-304M:DeviceNet™通信

インライン型のガス濃度モニタ
IR-302M
IR-302MA(Niコート仕様)
IR-302MB(Niコート仕様)

希望販売価格(税抜)¥1,450,000~

[測定ガス/フルスケール濃度]
IR-302M:TMGa/25vol%、DEZn/10vol%、IPA/5vol%
IR-302MA:GeH4 1vol%/H2
IR-302MB:B2H6 10vol%/H2 or He
[‌濃度精度]±1%フルスケール
[‌応答速度(T90)]4秒以下

※(株)堀場エステック製品

コンパクトプロセスガスモニタ

  • チャンバ内の微量ガスを計測し、常にベストな管理
  • 世界最小クラスの四重極質量分析計
    ※当社調べ(2017年4月)
  • 真空チャンバの全圧や残留しているガスの分圧を計測
  • RoHS指令対応
  • ユーザフレンドリーな専用ソフトウェアを準備

コンパクトプロセスガスモニタ
MICROPOLE System

希望販売価格(税抜)¥1,016,000~

[測定レンジ]65AMU/100AMU/300AMU
[質量分離方式]四重極質量分離
[検出器]ファラデーカップ
最大使用圧力(N2) 0.9pa(65AMUモデル)

※(株)堀場エステック製品

 

プラズマエミッションコントローラ

  • プラズマ発光状態を計測し、スパッタ装置への導入ガス流量を自動的に制御
  • 長時間プロセスにおけるプラズマの安定化
  • 反応性スパッタに置ける化合物混合比の最適化
  • RoHS指令対応

反応性スパッタのプラズマ制御
RU-1000

希望販売価格(税抜) 1チャンネル価格 ¥4,400,000~

[コントローラ本体]入出力:最大4チャンネル
[PMTユニット]入力信号 プラズマ発光、PMTゲイン(0-5V)
出力信号 PMT出力電源(0-10V) 電源DC15V 60mA
[光ファイバ]0.5、1、1.5、2M

※(株)堀場エステック製品

プラズマ発光分析モニタ

  • プラズマ発光の微弱な変化も検出できるアルゴリズム“Raputure Intensity”を搭載
  • 解析・レシピ作成をサポートする“Recipe Designer”が付属、プラズマ解析用途に最適なツール

プラズマ発光分析モニタ
EV-140C

希望販売価格(税抜) ¥3,500,000~

[測定波長範囲]200nm-800nm
裏面入射型2048Ch高分解能CCD
2m光ファイバ、コンピュータ、外部リモートコントロール機能一式付属

※(株)堀場エステック製品

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