デジタルマスフローコントローラ
SEC-N100 series

「SEC-N100シリーズ」は高性能かつコストパフォーマンスを追及し、新たな通信方式を追加した新型マスフローコントローラです。半導体製造プロセスをはじめ、「太陽電池パネル」「燃料電池」「LED」の研究・製造用など、多くの産業分野で用いることができ、生産性の向上・省エネルギー化に貢献致します。

液体微小流量マスフローコントロー
液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series

世界初の冷却測定方式を採用した流量センサを搭載

残留ガス分析計
RGA

世界最小クラスの四重極質量分析計

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