[報道発表] 掲載内容は発表日時点の情報です。

東レリサーチセンターとカソードルミネッセンス測定装置を共同開発

2017年10月23日


当社は、株式会社東レリサーチセンター(所在地:東京都中央区日本橋本町一丁目1番1号、社長:川村邦昭 以下、東レリサーチセンター)と走査透過型電子顕微鏡(Scanning Transmission Electron Microscope: 以下、STEM)に搭載可能な、カソードルミネッセンス(Cathodoluminescence:以下、CL) 測定装置を共同開発しました。STEMにCL測定装置を搭載することで、ナノメートルで形態観測ができ、また同時に発光スペクトルの解析が可能となります。当社で装置開発・製作を行い、東レリサーチセンターにて本手法を用いた受託分析サービスを開始しました。

CL法とは、固体試料に電子線を照射したときに生成される電子と正孔対が再結合する際に放出する光の波長を検出し、試料中の格子欠陥、応力、元素組成、微細構造等についての情報を得る分析手法です。従来の走査型電子顕微鏡(SEM)-CL法は、バルク試料の表面からの発光を検出するため、試料中での電子線の拡がり、電子-正孔対の拡散によって空間分解能が制限されてしまうという問題がありました。そこで、STEMにCL分光装置を組み込むことで空間分解能の向上を実現し、さらに、STEMに付属する他の分析手法と組み合わせることで、多面的な分析が可能となりました。

測定内容の詳細、東レリサーチセンターの受託分析サービスに関しましては、以下のページをご参照ください。

株式会社東レリサーチセンター プレスリリース