マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置
迅速表面分析：rf-GD-OESのご提案
表面分析を簡単かつ迅速に行いたいとは思いませんか？ 薄膜・めっき品・熱処理品・表面処理品などの評価（深さ方向元素分析）を迅速に行いたいとは思いませんか？ XPS・オージェ・SIMS・EPMAなどで行っている表面分析をより簡便に行いたいとは思いませんか？ そういうニーズにお応えするのが、高周波グロー放電発光表面分析装置（rf-GD-OES）です。
rf-GD-OES（GDS）分析装置は、Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ、スパッタされた原子を原子発光させることで、元素分析を行う、迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置として、薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。
次の機関ではrf-GD-OESを使って有償受託分析事業を展開しています。
日鐵テクノリサーチ様：http://www.nstr.co.jp/
環境技研リサーチセンター様：http://www.get-c.co.jp/
コベルコ科研様：http://www.kobelcokaken.co.jp/
住友金属テクノロジー様：http://www.smt-inc.co.jp/
なお、弊社分析センター：http://www.jp.horiba.com/support/a_center/においても受託分析を行うこともできます。