薄膜系  ~GD-OESアプリケーション~

DLC

Surface Cleaningによる水素測定の改善
GD-OES法は、水素Hを分析することができるというユニークな特長を有しています。

機能性有機膜

単分子膜の測定例
GD-OES法はスパッタ時に試料に与えるエネルギーが約50eVと小さく、スパッタによる試料のミキシングが少ないため、最表面における高分解能な測定が可能です。ここでは、GD-OESによる最表面分析事例をご紹介するため、基板表面に単分子膜が形成される試料で測定を試みました。

熱緩和低速スパッタユニットの活用例[1]
GD-OES法では、高周波を採用しているため、非導電性試料でも問題なくスパッタ・測定することができますが、試料によっては、スパッタ時のダメージで図2のように、試料が損傷したりする場合があります。

有機系皮膜の測定例:電磁鋼板(XPSとの比較)
高周波法を用いたGD-OES法では、有機物を含有する皮膜系の試料でも、迅速に深さ方向元素分析を行うことができます。ここでは、モータに用いられている電磁鋼板の分析事例をご紹介します。