GD-Profiler 2™

マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS)

表面分析・深さ方向元素分析を迅速かつ簡単に

rf-GD-OES(GDS)分析装置は、Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ、スパッタされた原子を原子発光させることで、元素分析を行う、迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置として、薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。

  • 迅速に表面分析がしたい
  • たくさんの試料・検体数の表面分析/深さ方向分析がしたい
  • 定量的な表面分析がしたい

といった、表面分析/深さ方向分析のお悩み・お困りにお応えすることができます。

 

 

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA France SAS
  • 迅速表面分析が可能!
  • 非導電性材料の表面分析も可能!
  • パルススパッタ(特許)により低ダメージ・高分解能測定が可能!
  • 顕微鏡観察用の前処理・エッチング機としても活用可能!
  • バルク分析(固体材料の定量分析)も可能!

  • 膜厚同時計測

    • DiP(Differential Interferometry Profiling)差動干渉プロファイリング機構
      元素プロファイルと深さ情報を同時に計測します。非測定部と測定部の位相差情報から、高精度な深さ情報が得られます。

  • 非平面試料測定

    • 非平面試料ホルダ
      平面試料だけでなく、非平面部分の表面分析ができます。棒状、切削工具、ネジ、ベアリングなどの非平面・湾曲した試料向け治具のカスタマイズもご相談を承っています。

  • 大気非暴露測定

    • トランスファーベッセル
      試料を大気から遮断してrf-GD-OES 分析を行う際に使用します。大気との遮断部分は、O リング・逆止弁付バルブ・スライド式窓などから構成されています。
       

  • 微小試料測定

  • スモールサンプルキット
  • 微小試料用埋込キット
微小試料をダイレクトに測定するためのキット。微小試料を埋込処理して測定するためのキット。
  • 半定量測定

    • 半定量キット
      標準試料セットと全検出器の感度自動調節により、簡易に半定量分析が行えます。

▶関連アプリケーションはこちら


次の機関ではrf-GD-OESを使って有償受託分析事業を展開しています。

発光部
ランプ型式マーカス型
試料印加方式13.56MHz高周波
高周波出力0-300W(可変)
パルス制御〈周波数〉1〜100Hz(可変)〈Duty〉5〜50%(可変)
ガス圧力0〜1000Pa(可変)
アノード径〈標準〉4mm〈オプション〉1mm、2mm、7mm
クリーニング機構モータ制御式自動クリーナ
検出部
検出器光電子増倍管
分析線〈メイン分光器〉標準20本+追加25本(オプション)
〈サブ分光器〉1本
分析元素H〜Uまで
ただし、メイン分光器に導入する元素は、別途お打ち合わせが必要となります。
データ取込間隔最高0.001sec〜
シンクロ測光パルススパッタ適応時のみ(オプション)
分光部
 ポリクロメータ(メイン分光器)
〈標準装備〉
モノクロメータ(サブ分光器)
〈標準装備〉
フラットフィールド・ポリクロメータ
〈オプション〉
マウント型式パッシェンルンゲツェルニターナポリクロメータ内組込み型
焦点距離500mm640mm 
回折格子ブレーズドホログラフィック凹面 グレーティング(刻線密度: 2400本/mm)ブレーズドホログラフィック平面グレーティング(刻線密度: 2400本/mmもしくは3600本/mmも)ホログラフィックグレーティング(刻線密度: 1200本/mm)
波長範囲110〜620nm165〜780nmもしくは165〜500nm400〜900nm
実質分解能 0.013〜0.018nm 
    
ソフトウェア
方式日本語対話方式 Quantum XP
ユーティリティ
本体装置質量550kg
本体外形寸法860(W)×1521(D)×1200(H)mm
ユーティリティ電源〈本体用〉単相AC 200V 30A
〈制御PC用〉単相AC 100V 10A
周波数 50/60Hz
ガス〈スパッタ用ガス〉Ar 
  純度: 99.9999%以上、圧力: 0.4MPa
〈シリンダ駆動用ガス〉N2もしくはエア 
  純度: 問わず、圧力: 0.7MPa
〈パージ用ガス〉N2 
  純度: 99.999%以上(O2<3ppm)
  圧力: 0.2MPa
設置環境〈温度〉22〜24±2℃
〈湿度〉60%以下

 

GD-OESによる電池材料の評価
GD-OESによる電池材料の評価
AlLi合金系の負極材料を用いた二次電池の充放電前後のLiの挙動を分析した事例を紹介します。
GD-OESによる化合物半導体の評価
GD-OESによる化合物半導体の評価
多層膜が設計通りの元素比で成膜されているかは、LED の性能に影響を及ぼす一つのパラメータです。ナノオーダーで成膜された多層膜の成膜状態を確認するためにもナノオーダーで元素分布を確認することが求められます。本アプリケーションでは化合物半導体の量子井戸構造(MQW : Multi Quantum Well)の成膜評価事例を紹介します。
GD-OESによる迅速分析例:熱処理部品
GD-OESによる迅速分析例:熱処理部品
窒化・炭化処理をした鉄鋼試料の窒化層の深さ・濃度、炭化層の深さ・濃度し、また表面から約7~8μmの深さに炭素の濃縮層があることも判明しました。
GD-OESによる材料中水素評価
GD-OESによる材料中水素評価
各種多層めっき皮膜の界面に存在する水素について、GD-OESによる深さ方向分析とTEMの断面観察について比較した結果を紹介します。
GD-OESによる迅速分析例:自動車用ボディーの分析例
GD-OESによる迅速分析例:自動車用ボディーの分析例
自動車用ボディーは塗装、下地、リン酸処理層、Znメッキ層、Fe基板などというように、非常に複雑な多層構造です。それぞれの層にどのような元素が含まれるかを分析した事例を紹介します。
GD-OESによる有機系皮膜の測定例:電磁鋼板
GD-OESによる有機系皮膜の測定例:電磁鋼板
電磁鋼板は有機物を含有したCr膜となっており、有機無機複合皮膜を有しています。このような皮膜をもつ試料を、光電子分光法(XPS)とGD-OESで測定し比較した事例を紹介します。
GD-OESによる有機系皮膜の測定例:塗装皮膜
GD-OESによる有機系皮膜の測定例:塗装皮膜
自動車用の電着塗装皮膜は有機皮膜で形成されており、測定途中で試料が熱ダメージを受ける場合がありますが、熱緩和方式の低速スパッタユニットを搭載しているのでスパッタ時の熱を緩和しながら測定が可能です。有機皮膜試料が熱ダメージを受けず分析できた事例を紹介します。
GD-OESによる迅速分析例:Znメッキのブリスター(膨れ)解析
GD-OESによる迅速分析例:Znメッキのブリスター(膨れ)解析
Znメッキの欠陥であるブリスター(膨れ)を測定した事例を紹介します。基板であるFeとメッキ層であるZnの界面部分を分析し、その不良原因の特定に貢献しました。
GD-OESによる迅速分析例:界面における拡散解析
GD-OESによる迅速分析例:界面における拡散解析
Cuめっきを施した鉄基板への熱処理前後でのメッキ/鉄界面の元素の拡散について分析した事例を紹介します。
GD-OESによるmmオーダの深さ方向元素分析例
GD-OESによるmmオーダの深さ方向元素分析例
GD-OES法は深さ100μm程度までの分析が限界ですが、前処理を行い、分析回数を繰り返すことで、炭化処理をした鉄鋼試料について、5mmという深さまで分析した事例を紹介します。
GD-OESによるハードディスク測定①
GD-OESによるハードディスク測定①
Al基板上にNiPメッキ、Cr・Co磁性膜、DLC膜を施したハードディスク基板表面から10μmの深さまで短時間で深さ方向に定量分析した事例を紹介します。
GD-OESによるハードディスク測定②
GD-OESによるハードディスク測定②
Al基板上にNiPメッキ、Cr・Co磁性膜、DLC膜を施したハードディスク基板表面から10μmの深さ方向定量分析結果を、GD-Profiler2とSEM-EDXとで比較した事例を紹介します。
GD-OESによる非導電性試料測定例:ガラス基板上薄膜
GD-OESによる非導電性試料測定例:ガラス基板上薄膜
モバイルPC用ガラス基板ハードディスクは超平滑なガラス基板上にナノメートルオーダーの磁性膜が多層積層されています。ガラスのような非導電性基板のGD-OES法での迅速深さ方向元素分析事例を紹介します。
GD-OESによる単分子膜の分析
GD-OESによる単分子膜の分析
エネルギーの低いAr+スパッタリングは、試料への照射エネルギーが低く、最表面における高分解能な測定が可能です。本資料では銅表面に単分子膜を形成した試料をnmレベルで深さ方向元素分析した事例を紹介します。
Surface Cleaningによる水素測定の改善
Surface Cleaningによる水素測定の改善
GD-OES法は、水素を分析することができるというユニークな特長を有していますが、表面付近の水素分析はテーリングが発生する場合があり、正確な水素分析を妨害します。そのため、Surface Cleaningの機能を用いて、このテーリング影響を除去し、正確な水素の測定を行った事例を紹介します。

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。

アクセサリ

GDOES Accessories
GDOES Accessories

Accessories for samples with various shapes, sizes and properties

GDOES Software
GDOES Software

Quantum and Image

HORIBAグループ企業情報