表面分析としてのご提案・活用事例

めっき・表面処理

表面の酸化、界面の拡散、めっき中の不純物・添加物、変色・偏析の要因など評価・解析に用いられています。

熱処理

浸炭、窒化などの処理におけるC・Nの処理深さ・濃度や添加元素のプロファイルを評価することで、生産技術面で活用されています。

薄膜評価

半導体用電極や磁性膜をはじめ、各種多層膜の膜厚・拡散・界面状態などの評価・解析に用いられています。

膜中水素評価

めっき・熱処理品のベーキング前後の水素、DLC中水素などの評価・解析に用いられています。

化合物半導体

GaAs系、GaN系など、MOCVDによる成膜工程における組成・膜厚の評価機として活用されています。

電池材料

軽元素の分析ができるrf-GD-OESの特長を活かし、Liの評価に活用されています。


 顕微鏡用前処理としてのご提案・活用事例