Symphony IGA検出器

概要

SymphonyIGA検出器は、液体窒素冷却方式を採用し、0.8μm1.6μm1.05μm2.05μmの波長をカバーする高い量子効率を持ったInGaAsアレイ検出器で、それぞれ512125×500μm)、512×150×250μm)、1024×125×250μm)のピクセルフォーマットから選択が可能です。液体窒素で素子を-103℃まで冷却し、ノイズを極限まで落としていますので、NIR領域の微弱光の検出に威力を発揮します。

特長

  • 分光アプリケーションに特化した設計。
  • 低ノイズで、NIR領域で最高感度が得られます。
  • 2つのゲイン(High SensitivityHigh Dynamic Range)の選択が可能で、アプリケーションに適した選択が可能
  • 優れたリニアリティ
  • USB2.0インターフェースを搭載
  • 入出力トリガは、ユーザプログラマブル

製造会社: HORIBA Scientific

仕様

 

SymphonyIGA-1700

SymphonyIGA-2200

波長レンジ*1

800nm〜1600nm

1050nm〜2050nm

ピクセル

512X1,512X1,1024X1

512X1,512X1,1024X1

ピクセルサイズ

25×500,50×500,25×500μm

25×250,50x250,25x250μm

リードアウトノイズ HiS Mode

0.5〜0.8Ke-rms (Typical)

0.5〜0.8Ke-rms (Typical)

リードアウトノイズ HiD Mode

5〜8Ke-rms (Typical)

5〜8Ke-rms (Typical)

Full Well Capacity HiS Mode

5Me- (Typical)

5Me- (Typical)

Full Well Capacity HiD Mode

130Me- (Typical)

130Me- (Typical)

ダークカレント

2.5ke-/pixel/S (Typical)

1.2Me-/pixel/S (Typical) *2

2.4Me-/pixel/S (Typical) *3

ノンリニアリティ

±1%以下

±1%以下

ゲイン HiS Mode

75e-/count

75e-/count

ゲイン HiD Mode

2000e-/count

2000e-/count

ダイナミックレンジ

16ビットADC

16ビットADC

冷却方法

液体窒素冷却

液体窒素冷却

検出素子温度

-103

-103

インターフェース

USB2.0

USB2.0

欠陥ピクセル *4

最大5Pixel以内 *5

最大10Pixel以内 *6

最大10Pixel以内 *5

最大20Pixel以内 *6

Software Development Kit

オプション

オプション

LabVIEW Vis

オプション

オプション

*1 -103℃でご使用の場合
*2 25×250μmチップ
*3 50×250μmチップ
*4 ダークスポットまたは、ホットスポットの数
*5 512チャンネルタイプ
*6 1024チャンネルタイプ

 

常温での量子効率

SymphonyIGA-1700

 

SymphonyIGA-2200

 

IGAチップデータシート

Type

LN Cooling

SymphonyIGA-1700

DataSheet

SymphonyIGA-2200

DataSheet

外形寸法図・他(単位:mm)

Quantum Efficiency Curve - Typical Spectral Response for IGA detector (25°C)

アプリケーション

3インチInGaAsウエハの波長マッピング
Symphony IGAアレイ検出器を使用して、InGaAsウエハのマッピング測定を行いました。シングルチャンネル検出器では、ある特定の波長での強度マッピングの情 報しか得られませんが、アレイ検出器の場合、各測定点でスペクトル情報が得られるため、ピーク波長、半地幅、ピーク位置での強度のマッピング情報が得られ ます。もちろん、ある波長での信号強度のマッピングも得ることが出来ます。
FHR640+SymphonyIGAで測定

イメージ

シリコン中の不純物の定量分析
シリコン中の不純物(P、B、Al、As)濃度の定量分析が高速で行えます。通常、Ge検出器 か、PMT検出器を使用し、分光器をスキャンして、近赤外領域を高分解能測定しなければ得られなったスペクトルが、SymphonyIGAアレイ検出器を 使用することにより、数秒から数十秒でSNの良いスペクトルが得られます。不純物の定量分析を行う場合、波長領域の異なる2つのスペクトルが必要ですが、 FHR1000との組み合わせで、高速測定が可能になりました。
FHR1000+SymphonyIGAで測定

 

 

InGaAsのフォトルミネッセンススペクトル
<Extendedタイプ>
SynapseIGA- 2200、SymphonyIGA-2200は、長波長側にカットオフ波長が伸びています。これは、InGaAsのフォトルミネッセンススペクトルですが、通常タイプ(SynapseIGA-1700、SymphonyIGA-1700)で測定すると、検出器の長波長側の限界から、ピーク位置が、短波長側へシフトしてしまいます。(青色のスペクトル)SynapseIGA-2200、 SymphonyIGA-2200では、2000nm以上まで、感度があるため、1650nmのピークが正確に測定されています。(赤色スペクトル)

ダウンロード

お問い合わせ

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社 堀場製作所
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)