分光エリプソメーター

超薄膜・多層膜など幅広いアプリケーションに対応するHORIBA JOBIN YVONのエリプソメータ NEW 自動薄膜計測装置 Auto SE 各種薄膜の品質管理や膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。 光学測定による膜厚計は、非破壊、非接触という大きな特長を有しています。 HORIBA JOBIN YVON（ホリバ・ジョバンイボン）では、幅広い膜厚測定ニーズに対応して、多様な膜厚計を提供しています。

最新のエッチング／成膜プロセスにおいて歩留まりを向上させるためには、膜厚、トレンチ深さまたはプラズマをリアルタイムでモニタリングし、エッチング／成膜プロセスを管理・制御することが必要です。 DIGIFAMILYでは光学先進国フランスのジョバンイボン社の高度な測定技術を駆使し、最先端の微細かつ複雑な薄膜プロセス制御を可能にしました。