非破壊・非接触による薄膜評価

分光エリプソメーターは、製品やデバイスのパフォーマンスに大きく影響する薄膜の特性を非破壊・非接触で評価・測定できる装置です。


New Uvisel 2

数Åから数十μmの薄膜に対して最高水準の性能を備えた、次世代の分光エリプソメーター。

 

分光エリプソメーター UVISEL

UVISEL、超薄膜多層サンプルの高感度分析が実現

自動薄膜計測装置 Auto SE

薄膜(膜厚)測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。"Auto...

Smart SE

プッシュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。

分光エリプソメーター 薄膜特性

分光エリプソメーター 薄膜特性
分光エリプソメーター 薄膜特性

製品ラインナップ

研究・開発向け

生産管理向け

     分光エリプソメーター

        可視分光エリプソメーター

分光エリプソメーター UVISEL2

分光エリプソメーター UVISEL

可視分光エリプソメータ Smart SE

自動薄膜計測装置 Auto SE

UVISEL2

UVISEL

   Smart SE 

Auto SE 

主な特長:

・位相変調方式を採用した高精度測定
・広い波長域にて高S/N比を実現
 (高感度測定)
・高い波長分解能による厚膜測定

     主な特長:

          ・高感度CCDによる高速測定
          ・マイクロスポット
          ・ビジョンシステム
          ・自動XYZステージ(マッピング測定)
          ・測定~解析~結果出力を自動化