非破壊・非接触による薄膜評価

分光エリプソメーターは、製品やデバイスのパフォーマンスに大きく影響する薄膜の特性を非破壊・非接触で評価・測定できる装置です。


分光エリプソメーター 薄膜特性

分光エリプソメーター 薄膜特性
分光エリプソメーター 薄膜特性

製品ラインナップ

研究・開発向け

生産管理向け

     分光エリプソメーター

        可視分光エリプソメーター

分光エリプソメーター UVISEL2

分光エリプソメーター UVISEL

可視分光エリプソメータ Smart SE

自動薄膜計測装置 Auto SE

UVISEL2

UVISEL

   Smart SE 

Auto SE 

主な特長:

・位相変調方式を採用した高精度測定
・広い波長域にて高S/N比を実現
 (高感度測定)
・高い波長分解能による厚膜測定

     主な特長:

          ・高感度CCDによる高速測定
          ・マイクロスポット
          ・ビジョンシステム
          ・自動XYZステージ(マッピング測定)
          ・測定~解析~結果出力を自動化