可視分光エリプソメーター Smart SE

概要

  • プッシュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。
  • 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数(屈折率、消衰係数)などの物質特性を精度良く測定します。
  • 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。
  • イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

測定方式

液晶変調方式

光源

ハロゲンランプおよび青色LED

波長範囲

450nm-1000nm

分光器

迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ(分解能:3nm以下)

検出器

高感度・高安定リニアCCD(2048ピクセル)

入射角度

70度固定 (45度-90度の範囲より5度刻みで変更可)

スポットサイズ(70度入射時)

75μm X 150μm, 100μm X 250μm, 100μm X 500μm,150μm X 150μm, 250μm X 250μm, 250μm X 500μm,500μm X 500μm  ※いずれも長方形

サンプルステージ

直径200mmまでのサンプルに対応
Z軸:max.17mm(手動可変)

サンプル観察系

イメージングシステム MyAutoViewTM

  • ソフトウェア上にてスポット位置確認
  • カラー2次元CCD
  • 視野範囲:2mm×6mm@70度入射

操作PC

デスクトップPC、TFTモニタ

ソフトウェア

分光エリプソメータ測定およびデータ解析用DeltaPsi2

装置寸法(操作PC除く)

装置本体:W840mm×D230mm×H340mm@70度入射
コントローラ:W302mm×D251mm×H130mm

オプション

電動ゴニオメータ

入射角度の電動可変(可変範囲:45度-90度)

電動X-Yステージ

200mmウェハ、もしくは 300mmウェハ対応

In-Situ測定用アダプタ

プロセスチャンバー取付用フランジ

アクセサリ

温度可変測定用ステージ、溶液測定用セル

必要ユーティリティ 

電源

AC100V±5%未満 (標準消費電力:200W)