分光エリプソメーター UVISEL2

概要

すべての膜厚測定に挑戦するための究極ソリューション

HORIBA Scientificは、高感度・高精度である位相変調方式を採用した分光エリプソメーターUVISELシリーズを長年販売しております。今回、高感度・高精度の特長を継続し、数Åから数十μmの薄膜に対して最高水準の性能を備えた、次世代の分光エリプソメーターUVISEL 2 を開発しました。

特長

  • 自動膜厚測定

    試料チルト調整、オートフォーカス、スポットサイズ選択、入射角可変、そしてマッピング機能、これらはすべてコンピュータから制御可能です。同一ファイバ・光学系のため、再調整、再校正の必要がなく、微小領域において高精度な測定が実現できます。
  • 高感度位相変調法

    高周波数(50kHz)での偏光変調となる位相変調法は、機械的な動作が無く、振動やビームずれが発生しないため、優れたS/N比を実現できます。
    分光エリプソメーターUVISEL2の光学構成
  • 試料ビジョンシステム

    分光エリプソメーターUVISEL2は、試料ビジョンシステムとして、画期的なカラーイメージングシステム(特許取得済)を標準搭載しています。
    このイメージングシステムは、様々な表面(荒い、滑らかな、透明、鏡面など)を有する薄膜材料上の測定スポットの可視化を実現します。
  • 高性能な分光特性

    分光エリプソメーターUVISEL2は、高い波長分解能を有する波長スキャンタイプの分光器とともに、アクロマートな光学系を組み込んでいます。同分光器は、190nmから2100nmまでの広い波長域をカバーし、高スループットおよび迷光の低減を実現しております。

ソフトウェア

<分光エリプソメーターソフトウェア Delta Psi2>

研究開発からルーチン作業まで対応

  • システム制御、データシミュレーション、サンプル測定、モデリングそしてレポートまでを自動化
  • 直感的な操作
  • インポート/エクスポートパッケージ機能

分光エリプソメーターソフトウェア Delta Psi2


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

光源

150Wキセノンランプ

スポットサイズ

8種類 (最小35μm × 85μm@70°)

波長範囲

190~1000nm
近赤外拡張:2100nmまで拡張可

分光器

FUV-VIS:ダブルモノクロメータ、PMT検出器
NIR:シングルモノクロメータ、InGaAs検出器

試料ステージ

電動可変XYZ(最大200mm × 200mm × 30mm)
真空吸着機構、オートフォーカス機能、オートチルト機能

試料ビジョン

カラーイメージングシステム
視野 6.5mm × 3.5mm@70°

ゴニオメータ

電動可変(35°-90°)

装置寸法

W1084mm × D984mm × H802mm
(コンピュータ・モニタ含まず)

アプリケーション

超厚膜フォトレジスト

超厚膜フォトレジスト

分光エリプソメーターUVISEL 2 ではソフトウェアでの機能設定と分光器のスリット調節を併用することにより、85μmの超厚膜フォトレジストの評価が可能です。

低屈折率コントラストの薄膜

低屈折率コントラストの薄膜

分光エリプソメーターUVISEL 2 では、ガラス基板上のSiO2膜のように、屈折率差が0.005とコントラストの低いサンプルでも、膜特性を正確に評価できます。さらに、SiO2層の屈折率濃度勾配も求めることが可能です。

フレキシブルフィルム

マッピング測定

分光エリプソメーターUVISEL 2 は異方性を持つ樹脂フィルムのような、フレキシブルフィルム上の薄膜でも容易に測定できます。
また、DeltaPsi2は、分散式を利用して幅広い材料のモデル化を可能にする特長を備えています。

マッピング測定

フレキシブルフィルム

レシピ測定では、自動マッピングレシピ機能により、最小限の講習で日々のルーチン測定を可能にします。(膜厚不均一、変形サンプルでは測定ポイントごとに、オートフォーカスにより信号を自動調整します。)

アクセサリ

  • 温度制御セル
  • 液体測定セル
  • 電気化学セル
  • 密閉セル
  • 回転機構
  • 透過率測定用マウント
  • フィルム測定用マウント など