真空外・軟X線用回折格子(グレーティング)

UV and Soft X-ray Gratings

ホログラフィック・イオンエッチングタイプの真空紫外軟X線用回折格子(グレーティング)です。基板上に直接、溝が形成され、溝はラミナー形状になっており、2次回折光の影響が低く抑えられています。

収差補正トロイダルタイプ、不等溝間隔 - VLS(Variable Line Spacing)-タイプに加え、溝の深さが溝方向に沿って連続的に変わる、溝深さ変化 - VGD(Variable Groove Depth)-タイプも新たに加わりました。また両方の特徴を兼ね備えたVLS-VGD回折格子(グレーティング)も提供可能です。

事業セグメント: 科学
製品分類: グレーティング
製造会社: HORIBA France SAS
  • 溝密度:最大4000gr/mm
  • 寸法:最大500mm
  • 基板材質:シリコン、溶融石英
  • 基板形状:平面、球面、シリンドリカル、トロイダル
  • VLSまたは溝密度一定
  • 可変溝深さ(VGD)による効率調整可能
  • スロープ誤差0.1µrad RMSの高品質基板
  • 超低グルーブラフネス: ~0.2nm RMS
  • コーティング : Au, Ni, Pt (その他のコーティングはご要望に応じます)

お客様のグレーチングの実現可能性を確認するために、グレーチングの仕様書を共有してください :

  • 基板材質
  • 基板サイズ
  • 有効面積
  • 基板形状 (平面,球面,...)
  • 基板のRMSマイクロラフネス (nm)
  • 基板のRMSスロープエラー (µrad or arcsec)
  • グルーブ密度 : 一定またはVLS
  • VLSの場合、N(x) =N0*(1+2*b2x+3*b3x2+4*b4x3+...)

Where :

N0 (mm-1) =

b2 (mm-1) = 

b3 (mm-2) =

  • 溝形状
  • エネルギー範囲
  • Cff係数または入射角
  • コーティング

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