化合物半導体の評価に最適。
基礎研究からマッピングルーチン測定まで、幅広いニーズにお応えします。

非破壊、非接触による、化合物半導体の組成評価、欠陥評価、量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。


HORIBA フォトルミネッセンスニュース


用途

  • 化合物半導体エピ層の組成分析
  • 発光材料の欠陥
  • 界面の評価
  • 光集積回路の非破壊評価

顕微フォトルミネッセンス測定装置 LabRAM-HR PL

化合物半導体の評価に最適。基礎研究からマッピングルーチン測定まで、幅広いニーズにお応えします。

モジュラフォトルミネッセンス測定システム

堀場製作所ではホリバ・ジョバンイボン社の分光器(iHR シリーズ、FHR シリーズ)と検出器(Synapse、Symphony) にレーザ、クライオスタットを組み込んだフォトルミネッセンスシステムの設計を承っております。

シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置 Photoluminor-D

フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。

PL測定発光領域

PL測定発光領域

代表的な半導体材料の発光領域を示します。

*クリックで拡大します。

ニュース&トピック

パワーデバイス向けSiCウェハの非破壊評価 

光分析技術を用いたマイクロ~ナノスケールの欠陥検出
(株)堀場製作所 技術情報誌 Readout 40号 (2013年2月)