モジュラフォトルミネッセンス測定システム

概要

堀場製作所ではホリバ・ジョバンイボン社の分光器(iHR シリーズ、FHR シリーズ)と
検出器(Synapse、Symphony) にレーザ、クライオスタットを組み込んだフォトルミネッセンスシステムの設計を承っております。

システム概要

レーザ/ 分光器/ 検出器/ 光学系/ 測定部/ 制御部で構成します。

特長

  1. 豊富な分光器とグレーティングのリストから、高感度から高分解能までご要望にあわせた選択ができます。
  2. 測定波長域に合わせた最適な光学設計により高いスループットを実現します。
  3. 測定目的に応じてマクロ測定、顕微測定、ファイバ測定、クライオスタットを利用した極低温測定に対応します。
  4. お客様がお持ちのレーザを利用して設計も可能です。
  5. オプションの高速マッピング測定機能により2インチ、3インチ、4インチのウエハを短時間で測定できます。

専用ソフトウエア(LabSpec)

ホリバ・ジョバンイボン社が長年フォトルミネッセンス測定やラマン分光測定で培った経験を元に最適な専用ソフト(LabSpec)
を提供しております。装置の制御から測定、解析、マッピングイメージ表示まで全てLabSpec 上で行なえます。


スペクトル測定 マルチ測定 マッピング測定
分光器/ 検出器のコントロール


3インチ InGaPウエハ高速マッピング測定
101×101 測定ポイント、積算時間1mSec 測定時間4分9秒


製造会社: HORIBA

仕様

仕様についてはカタログをご参照ください。

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ニュース&トピック

パワーデバイス向けSiCウェハの非破壊評価 

光分析技術を用いたマイクロ~ナノスケールの欠陥検出
(株)堀場製作所 技術情報誌 Readout 40号 (2013年2月)

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