スポットサイズ数nmの電子ビームの照射により試料から生じる発光(カソードルミネッセンス)を用いて微小領域における物性評価が可能です。この発光は形状観察では得られない情報を得ることができ、半導体、酸化物、誘電体、セラミックス、生物等の幅広い分野で使用されております。フィールドエミション電子顕微鏡と組み合わせることにより、ナノオーダの微小領域の評価が可能になり、さらなるナノテクノロジーを切り拓こうとしています。

用途

  • 半導体等の不純物・欠陥評価
  • 応力分布評価
  • 酸化膜の欠陥構造分布評価
  • 発光素子の評価
  • 電子デバイスの基盤材料の評価
  • デバイスの特性解析
  • 三次元的量子構造の評価


カソードルミネッセンス測定システム MPシリーズ

集光器と分光部は光ファイバーで接続することにより、使用用途に合わせた分光器の選択が可能です。