マイクロアナリシス
エネルギー分散型X線分析装置 EMAXEvolution EX-270/370/470
概要
電子顕微鏡と組み合わせて微小領域の異物解析、組成分析に最適です。分析者が永年求めていた正確さ・スピード・使いやすさが実現しました。分析業務全体をわかりやすくサポートするフローチャート形式のナビゲータを搭載。高度な機能を使いやすく－これからのX線分析装置の姿です。
特長
- 短時間で「最適」分析
最適データに達した時点で解析を終了させる、全く新しい分析手順を実現。
スペクトルを収集しながら定量も行えるリアルタイム分析が可能です。 - より正確・迅速な解析
正確な結果がリアルタイムで得られる TruMap、TruLine、オートレイヤーで、正確・迅速な解析を実現。
次世代検出器に最適化された定量アルゴリズムを搭載。 - 大きく進化した操作環境
初心者から上級者まで多様なユーザーに使いやすさを提供します。
マルチタスクを実現し、測定しながらデータ確認、レポート作成、プリントアウトを行う事ができます。
X線分析装置の測定原理について
【X線の発生と特性X線】
電子銃から放出された電子は、試料表面からある深さまで入り込み、各種の電子線やX線を発生します。X線分析装置は、特性X線を用いて、試料の構成元素分析を行うことができます。
【特性X線と連続X線】
入射電子によって、原子核をまわる電子が原子の外にはじき出されてできる空位により高いエネルギー準位にある電子が移ります。このとき、過剰なエネルギーが元素特有のX線(特性X線)となって発生します。特性X線はスペクトル上ではピークとして表示されます。このほかにも入射電子は原子核の影響を受け軌道を曲げられた時に、エネルギーを失い連続X線を発生します。そのスペクトルはバックグラウンドとして表示されます。
■電子線励起
製造会社: HORIBA
仕様
■形式 | EX-270 | EX-370 | EX-470 |
|---|---|---|---|
■検出器部 | |||
◎検出器/分解能 | |||
ｘ-act検出器（標準） | 130eV | 130eV | 130eV |
ｘ-act検出器（プレミアム） | 127eV | 127eV | 127eV |
X-Max検出器（標準：20、50、80mm2） | 127eV | 127eV | 127eV |
X-Max検出器（プレミアム：20、50、80mm2） | 124eV | 124eV | 124eV |
■機能比較 | |||
◎アナライザ | ● | ● | ● |
自動定性、KLMマーカ | ● | ● | ● |
ピークプロファイルの表示 | ● | ● | ● |
定量 | ● | ● | ● |
スペクトル比較 | ● | ● | ● |
◎ポイント＆ID | ● | ● | ● |
分析エリア自動収集/スペクトル再構成 | ● | ● | ● |
◎マップ | |||
スマートマップ | ● | ● | ● |
部分マッピング | ● | ● | ● |
画像合成（レイヤー） | ● | ● | ● |
TruMap | ▲ | ● | ● |
オートレイヤー | ▲ | ● | ● |
ラインスキャン | ● | ● | ● |
TruLine | ▲ | ● | ● |
オートロック（ドリフト補正） | ▲ | ● | ● |
◎広域自動分析（オートメート）※1 | ▲ | ▲ | ● |
◎広域マッピング（モンタージュ）※1 | ▲ | ▲ | ● |
◎自動粒子解析（フューチャー）※1 | ▲ | ▲ | ● |
▲オプション
※1：SEM側に別途オートステージ・通信機能が必要です。対応SEMの型式をご確認ください。広域マッピング（モンタージュ）には広域自動分析（オートメート）が必要です。EMAX ENERGYソフトにて対応します。
※記載の商品名及び社名はそれぞれ各社の商標または登録商標です。
※Microsoft Wordは製品に含まれていません。