マイクロアナリシス

X線分析顕微鏡 XGT-5000シリーズ

概要

10μmのX線。超・微細X線ビームを、独自のX線導管(X-ray Guide Tube)の開発でついに実現。
試料をスキャンさせながらX線を照射し、CCDカメラやX線検出器と連動させることで、光学顕微鏡による観察と、X線分析装置による元素分析の機能を完全にシームレスに融合することに成功しました。
いままでとは異なる、新世代の顕微鏡の世界へ。＜XGT＞が科学を新時代へと進めます。

用途：異物分析、故障解析、不具合解析、RoHS 対応、スクリーニング、非破壊分析、食の安全、鉛フリー、規制、鑑識、生態分析、生体分析

対象：プリント基板、実装基板、電子部品、家電、玩具、製薬、医薬品、食品、めっき

機能：マッピング、面分析、微小部分析

特長

一台でさまざまな分析の可能性。
観察してすぐ分析。見たまま「簡単位置決め」。
ミクロからマクロまで多彩な試料に対応。
XGTが解決する、分析の様々な「困難」。

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製造会社: HORIBA

仕様

XGT-5000	Type I	Type II
XGTシステム
高感度タイプ(空間分解能：10μm、100μm)	−	○
標準タイプ(空間分解能：100μm)	○ 10μm追加可能	−
透過X線検出器
	○ (オプション)^※1	○
光学像
全体光学像観察システム	○ (オプション)	○ (×1.5〜×25)
詳細光学像同軸観察システム	○ (×30)^※2	○ (×100)
光学像から測定位置指定	○	○
共通仕様
X線管	最大50 kV、1 mA、Rhターゲット
蛍光X線検出器	高純度Si検出器(Xerophy)
検出元素	Na〜U(試料大気中にて)
エネルギーレンジ	0〜40 keV
最大測定エリア/最大試料サイズ	100 mm×100 mm / 350 mm×400 mm×40 mm
OS	Windows XP
ソフトウエア	●定性機能自動定性、多点分析、マッチ
	●定量機能 FPM定量(スタンダードレス、1点校正) 検量線定量
	●マッピング分析透過像・蛍光像の同時マッピング、疑似カラー、画像RGB合成、画像線分析、画像間演算、相分析(オプション)、コントラスト調整、透過像、蛍光像、光学像からの分析位置指定
	●出力 CRT表示、プリンタ出力、ファイル出力、ビットマップ出力(オプション)、印刷レイアウト(オプション)
電源	AC100 V、50/60 Hz、1.3 kVA以下
装置質量	280 kg
外形寸法	2110(W)×1000(D)×1350(H) mm

●真空ポンプ●カラープリンタ●MOドライブ(オプション)●CD-RWドライブ(オプション)●15インチ液晶モニタ(オプション)●透過光照明システム(オプション)

※1 透過X線検出器を付けていない場合でも、マッピング時には透過X線のウィンドウが表示されます。
※2 全体光学像観察システムをオプション追加した場合(×100)になります。

※X線分析顕微鏡は、独立行政法人科学技術振興機構の新技術開発委託制度により独立行政法人物質・材料研究機構の技術援助を受け、開発に成功した装置です。＜実施許諾特許＞特許：第1806535号、第1828290号、第2032556号、第2032557号
※X線分析顕微鏡のご使用に際しましては、電離放射線障害防止規則に基づいて、設置の30日前までに所轄の労働基準監督署への届出が必要です。

外形寸法図・他（単位：mm）

アプリケーション

カタログ

X線分析顕微鏡 XGT-5000シリーズ

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X線分析顕微鏡 XGT-5000シリーズ

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