マイクロアナリシス
サンプル前処理
顕微鏡用前処理専用装置：TENSECのご提案
適切なウェットエッチング液が見つからない！ 耐食性が高く、エッチングできない！ 鏡面研磨後やFIB・CP処理後に試料表面に凹凸を付けたい！ イオンミリングではなかなか処理が難しい！といった場合にご提案できるのが、顕微鏡用前処理専用装置（TENSEC）です。
TENSECは、高周波グロー放電発光分析装置（rf-GD-OES）がもつ50eVという低エネルギーArプラズマを顕微鏡用の前処理として応用したエッチング専用装置です。その名通り、10sec（テンセック）という短時間で試料の表面をエッチングすることにより、光学顕微鏡や電子顕微鏡などにとって、より良い表面を作製できる装置です。
TENSECの活用事例（アプリケーション）
耐食性の高い試料に対する前処理（エッチング）ステンレス、チタンなどの材料をはじめ、エッ...
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rf-GDによる前処理（TENSEC）にご興味のある方には
慶應義塾大学 清水健一先生・三谷智明先生共著
「A New World of Scanning Electron Microscopy」をご紹介致します。
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